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1. WO2018189164 - VORRICHTUNG ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON OBJEKTEN

Veröffentlichungsnummer WO/2018/189164
Veröffentlichungsdatum 18.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/059139
Internationales Anmeldedatum 10.04.2018
IPC
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
26
Verarbeitung von lichtempfindlichen Materialien; Vorrichtungen dafür
42
Abziehen oder Agenzien dafür
B Arbeitsverfahren; Transportieren
08
Reinigen
B
Reinigen allgemein; Verhüten des Verschmutzens allgemein
7
Reinigen durch Verfahren, die nicht in einer einzelnen anderen Unterklasse oder einer einzelnen Gruppe dieser Unterklasse vorgesehen sind
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
G03F 7/42 (2006.01)
B08B 7/00 (2006.01)
H01L 21/67 (2006.01)
CPC
G03F 7/427
H01L 21/67115
H01L 21/67253
H01L 21/6776
Anmelder
  • IST METZ GMBH [DE/DE]; Lauterstrasse 18 72622 Nürtingen, DE
Erfinder
  • STARZMANN, Oliver; DE
  • SCHIETTINGER, Thomas; DE
  • JAHN-QUADER, Uwe; DE
  • SCHMITT, Peter; DE
Vertreter
  • PFIZ, Thomas; DE
  • GAUSS, Nikolai, Dr.; DE
Prioritätsdaten
10 2017 108 076.713.04.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON OBJEKTEN
(EN) DEVICE FOR TREATING THE SURFACE OF OBJECTS
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SURFACE D'OBJETS
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Objekten mit einer das zu behandelnde Objekt (12) aufnehmenden Behandlungskammer (14), einer auf das Objekt (12) ausgerichteten Strahlungsquelle (16) für UV-Strahlung und einer Einrichtung (24) zur Beaufschlagung der Behandlungskammer (14) mit einem Arbeitsfluid, wobei das Arbeitsfluid wenigstens eine Inertkomponente und wenigstens eine photochemisch reaktive Reaktivkomponente enthält. Erfindungsgemäß wird eine zur Erfassung von Messdaten an dem in der Behandlungskammer (14) befindlichen Arbeitsfluid und/oder an dem Objekt (12) ausgebildete Messeinheit (20) vorgeschlagen, wobei eine mit der Messeinheit (20) verbundene Steuereinheit (18) zur Beeinflussung der Zusammensetzung des Arbeitsfluids nach Maßgabe der erfassten Messdaten vorgesehen ist.
(EN)
The invention relates to a device for treating the surface of objects, having a treatment chamber (14) receiving the object (12) to be treated, a radiation source (16), oriented toward the object (12), for UV radiation and a device (24) for admitting a working fluid to the treatment chamber (14), wherein the working fluid contains at least one inert component and at least one reactive component, which is photochemically reactive. According to the invention, a measuring unit (20) designed to capture measurement data on the working fluid in the treatment chamber (14) and/or on the object (12) is proposed, wherein a control unit (18) connected to the measuring unit (20) is provided for influencing the composition of the working fluid according to the captured measurement data.
(FR)
- 12 - Résumé L'invention concerne un appareil de traitement de surface d'objets doté d'une chambre de traitement (14) recevant l'objet (12) à traiter, d'une source de rayonnement (16) de rayonnement UV orienté vers l'objet (12) et d'un dispositif (24) servant à appliquer un fluide de travail à la chambre de traitement (14), le fluide de travail contenant au moins un composant inerte et au moins un composant à réactivité photochimique. Selon l'invention, une unité de mesure (20) est prévue pour enregistrer des données de mesure sur le fluide de travail se trouvant dans la chambre de traitement (14) et/ou sur l'objet (12), une unité de commande (18) reliée à l'unité de mesure (20) étant prévue pour influencer la composition du fluide de travail en fonction des données de mesure détectées.
Auch veröffentlicht als
EP2018717578
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