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1. WO2018188946 - VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER HOCHFREQUENZLEISTUNG MIT EINER VORGEGEBENEN FREQUENZ UND LEISTUNGSWANDLER

Veröffentlichungsnummer WO/2018/188946
Veröffentlichungsdatum 18.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/057796
Internationales Anmeldedatum 27.03.2018
IPC
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37
Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
32
Gasgefüllte Entladungsröhren
H Elektrotechnik
02
Erzeugung, Umwandlung oder Verteilung von elektrischer Energie
M
Anlagen zur Umformung von Wechselstrom in Wechselstrom, von Wechselstrom in Gleichstrom oder umgekehrt, oder von Gleichstrom in Gleichstrom und zur Verwendung in Netzen oder ähnlichen Stromversorgungssystemen; Umformung von Gleichstrom- oder Wechselstromeingangsleistung in Stoß-Ausgangsleistung; Steuern oder Regeln derselben
1
Einzelheiten von Umformer-Apparaten
H Elektrotechnik
02
Erzeugung, Umwandlung oder Verteilung von elektrischer Energie
M
Anlagen zur Umformung von Wechselstrom in Wechselstrom, von Wechselstrom in Gleichstrom oder umgekehrt, oder von Gleichstrom in Gleichstrom und zur Verwendung in Netzen oder ähnlichen Stromversorgungssystemen; Umformung von Gleichstrom- oder Wechselstromeingangsleistung in Stoß-Ausgangsleistung; Steuern oder Regeln derselben
7
Umformung von Wechselstrom in Gleichstrom; Umformung von Gleichstrom in Wechselstrom
42
Umformung von Gleichstrom in Wechselstrom ohne Umkehrmöglichkeit
44
durch ruhende Umformer
48
unter Verwendung von Entladungsröhren mit Steuerelektrode oder Halbleiterbauelementen
53
unter Verwendung von Vorrichtungen von der Art einer Entladungsröhre oder eines Transistors, die ein stetiges Anlegen eines Steuersignals erfordern
537
unter ausschließlicher Verwendung von Halbleiterbauelementen
5387
in Brückenschaltung
H Elektrotechnik
03
Grundlegende elektronische Schaltkreise
M
Codieren, Decodieren oder Codeumsetzung allgemein
1
Analog-Digital-Umsetzung; Digital-Analog-Umsetzung
66
Digital-Analog-Umsetzer
H01J 37/32 (2006.01)
H02M 1/00 (2006.01)
H02M 7/5387 (2007.01)
H03M 1/66 (2006.01)
CPC
H01J 37/32146
H01J 37/32174
H03M 1/66
Anmelder
  • TRUMPF HÜTTINGER GMBH + CO. KG [DE/DE]; Bötzinger Strasse 80 79111 Freiburg, DE
Erfinder
  • WINTERHALTER, Markus; DE
  • HOFSTETTER, Christoph; DE
  • MAIER, Florian; DE
  • BOCK, Christian; DE
Vertreter
  • TRUMPF PATENTABTEILUNG; TRUMPF GmbH & Co. KG TH501 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Strasse 2 71254 Ditzingen, DE
Prioritätsdaten
10 2017 206 132.410.04.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER HOCHFREQUENZLEISTUNG MIT EINER VORGEGEBENEN FREQUENZ UND LEISTUNGSWANDLER
(EN) METHOD FOR PRODUCING A HIGH-FREQUENCY POWER AT A PREDEFINED FREQUENCY, AND POWER CONVERTER
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UNE PUISSANCE À HAUTE FRÉQUENCE AVEC UN CONVERTISSEUR DE FRÉQUENCE ET DE PUISSANCE PRÉDÉTERMINÉ
Zusammenfassung
(DE)
Ein Verfahren zur Erzeugung einer Hochfrequenzleistung, mit einer vorgegebenen Frequenz, insbesondere zwischen 3 und 180 MHz, die einer Plasmalast (49) zuführbar ist, umfasst die Verfahrensschritte: a. Erzeugen eines Analogsignals durch Zuführen von digitalen, eine Frequenzinformation enthaltenden Daten von einer Logikschaltung (22) an einen ersten Digital-Analog Wandler (DAC) (29-32); b. Erzeugen eines analogen Amplitudenwerts durch Zuführen von digitalen Daten an einen zweiten DAC (41); c. Multiplizieren des Analogsignals mit dem Amplitudenwert durch einen analogen Multiplizierer (37-39) zur Erzeugung eines amplitudenmodulierten Ausgangssignals; d. Zuführen des amplitudenmodulierten Ausgangssignals an einen ersten Verstärker (42, 43) zur Erzeugung der Hochfrequenzleistung bei der vorgegebenen Frequenz.
(EN)
A method for producing a high-frequency power at a predefined frequency, in particular between 3 and 180 MHz, which can be supplied to a plasma load (49), comprises the method steps of: a. generating an analogue signal by supplying digital data containing an item of frequency information from a logic circuit (22) to a first digital/analogue converter (DAC) (29-32); b. generating an analogue amplitude value by supplying digital data to a second DAC (41); c. multiplying the analogue signal by the amplitude value by means of an analogue multiplier (37-39) in order to generate an amplitude-modulated output signal; d. supplying the amplitude-modulated output signal to a first amplifier (42, 43) in order to produce the high-frequency power at the predefined frequency.
(FR)
Procédé de production d'une puissance à haute fréquence avec une fréquence prédéterminée, en particulier entre 3 et 180 MHz, qui peut être transmise à une charge plasma (49), comprenant les étapes opératoires suivantes : a. générer un signal analogique en fournissant des données numériques contenant des informations de fréquence provenant d'un circuit logique (22) à un premier convertisseur numérique-analogique (DAC) (29-32) ; b. produire une valeur d'amplitude analogique en fournissant des données numériques à un deuxième DAC (41) c. multiplier le signal analogique par la valeur d'amplitude au moyen d'un multiplicateur analogique (37-39) pour générer un signal de sortie modulé en amplitude ; d. transmettre le signal de sortie modulé en amplitude à un premier amplificateur (42, 43) pour générer la puissance à haute fréquence avec la fréquence prédéterminée.
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