Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen

1. (WO2018188810) MIKROMECHANISCHE SPIEGELVORRICHTUNG

Pub. No.:    WO/2018/188810    International Application No.:    PCT/EP2018/025104
Publication Date: Fri Oct 19 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Apr 10 01:59:59 CEST 2018
IPC: G02B 26/08
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Inventors: GRASSHOFF, Thomas
Title: MIKROMECHANISCHE SPIEGELVORRICHTUNG
Abstract:
Mikromechanische Spiegelvorrichtung (1) umfassend: einen plattenförmigen Spiegel (2) mit einer Reflexionsfläche (3) zum Reflektieren von Licht, wobei die Reflexionsfläche (3) eben ausgebildet ist; eine geschlossene Rahmenstruktur (6), welche den plattenförmigen Spiegel (2) trägt und welche einen Rand (7) des plattenförmigen Spiegels (2) vollständig umrahmt; eine Federanordnung mit mindestens zwei Federstrukturen (8a), welche spiegelsymmetrisch angeordnet sind und welche die geschlossene Rahmenstruktur (6) mit einer ortsfest liegenden Tragstruktur (5) verbinden, wobei die Federanordnung so ausgebildet ist, dass die geschlossene Rahmenstruktur (6) und der plattenförmige Spiegel (2) gegenüber der Tragstruktur (5) in einen resonanten Schwingungszustand bringbar sind; und eine Verbindungsanordnung mit mindestens vier Verbindungsfederstrukturen (9a, 9b), welche spiegelsymmetrisch angeordnet sind, und welche jeweils den plattenförmigen Spiegel (2) mit der geschlossenen Rahmenstruktur (6) verbinden; wobei die Verbindungsfederstrukturen (9a, 9b) derart elastisch verformbar ausgebildet und angeordnet sind, dass sie sich in dem resonanten Schwingungszustand hin und her verformen, sodass der plattenförmige Spiegel (2) von der geschlossenen Rahmenstruktur (6) teilweise mechanisch entkoppelt ist.