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1. WO2018185159 - SUBSTRATAUFBAU FÜR EINEN GASSENSOR ODER EINE INFRAROT-LICHTQUELLE

Veröffentlichungsnummer WO/2018/185159
Veröffentlichungsdatum 11.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/058601
Internationales Anmeldedatum 04.04.2018
IPC
[IPC code unknown for G01N 21/3504]
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
27
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwendung elektrischer, elektrochemischer oder magnetischer Mittel
02
durch Ermittlung der Impedanz
04
durch Untersuchen des Widerstandes
12
eines festen Körpers in Abhängigkeit von der Absorption einer Flüssigkeit; eines festen Körpers in Abhängigkeit von der Reaktion mit einem fließfähigen Medium
G Physik
01
Messen; Prüfen
J
Messen der Intensität, der Geschwindigkeit, der spektralen Zusammensetzung, der Polarisation, der Phase oder der Pulscharakteristik von infrarotem, sichtbarem oder ultraviolettem Licht; Farbmessung; Strahlungspyrometrie
3
Spektrometrie; Spektrofotometrie; Monochromatoren; Farbmessung
02
Einzelheiten
10
Anordnungen von Lichtquellen besonders für Spektrometrie oder Farbmessung
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17
Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
25
Farbe; Spektraleigenschaften, d.h. Vergleich der Materialeffekte bei Licht von zwei oder mehr Wellenlängen oder Wellenlängenbereichen
H Elektrotechnik
05
Elektrotechnik, soweit nicht anderweitig vorgesehen
B
Elektrische Heizung; elektrische Beleuchtung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
3
Widerstandsheizung
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
23
Einzelheiten von Halbleiter- oder anderen Festkörperbauelementen
12
Montagesockel, z.B. nicht lösbare isolierende Substrate
14
gekennzeichnet durch das Material oder dessen elektrische Eigenschaften
15
Substrate aus Keramik oder Glas
G01N 21/3504 (2014.01)
G01N 27/12 (2006.01)
G01J 3/10 (2006.01)
G01N 21/25 (2006.01)
H05B 3/00 (2006.01)
H01L 23/15 (2006.01)
CPC
G01J 3/108
G01N 21/255
G01N 21/3504
G01N 2201/061
G01N 27/123
G01N 27/128
Anmelder
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Werner-von-Siemens-Straße 1 80333 München, DE
Erfinder
  • HEDLER, Harry; DE
  • POHLE, Roland; DE
  • ZAPF, Jörg; DE
Prioritätsdaten
10 2017 205 985.007.04.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) SUBSTRATAUFBAU FÜR EINEN GASSENSOR ODER EINE INFRAROT-LICHTQUELLE
(EN) SUBSTRATE STRUCTURE FOR A GAS SENSOR OR AN INFRARED LIGHT SOURCE
(FR) STRUCTURE DE SUBSTRAT POUR UN CAPTEUR DE GAZ OU UNE SOURCE DE LUMIÈRE INFRAROUGE
Zusammenfassung
(DE)
Es wird ein Substrataufbau (10) für einen Gassensor oder eine Infrarot-Lichtquelle angegeben, umfassend - einen Substratträger (11) umfassend ein keramisches oder halbleitendes Material - einen Substratchip, der in einen Chiprahmen (14) und einen Membranbereich mit einer Membran (15) gegliedert ist und auf dem Substratträger (11) angeordnet ist, wobei die Dicke der Membran (15) weniger als 200 μιη beträgt, und wobei der Chiprahmen (14), die Membran (15) und der Substratträger (11) einen Hohlraum (22) ausbilden, der von der Membran (15) zu einer ersten Seite hin begrenzt ist und vom Substratträger (11) zu einer zweiten Seite hin begrenzt ist, - ein Reflexionselement (16), das im Hohlraum (22) auf der zweiten Seite auf dem Substratträger (11) angeordnet ist.
(EN)
A substrate structure (10) for a gas sensor or an infrared light source is specified, said substrate structure comprising – a substrate carrier (11) comprising a ceramic or semiconductor material, – a substrate chip, which is subdivided into a chip frame (14) and a membrane region with a membrane (15) and which is arranged on the substrate carrier (11), wherein the thickness of the membrane (15) is less than 200 µm and wherein the chip frame (14), the membrane (15) and the substrate carrier (11) form a cavity (22) which is delimited to a first side by the membrane (15) and which is delimited to a second side by the substrate carrier (11), – a reflection element (16), which is arranged on the substrate carrier (11) in the cavity (22) on the second side.
(FR)
L'invention concerne une structure de substrat (10) pour un capteur de gaz ou une source de lumière infrarouge, comprenant : un support de substrat (11) comprenant un matériau céramique ou semi-conducteur ; une puce de substrat qui est divisée en un cadre de puce (14) et une zone de membrane présentant une membrane (15) et qui est disposée sur le support de substrat (11), l'épaisseur de la membrane (15) étant inférieure à 200 μm, et le cadre de puce (14), la membrane (15) et le support de substrat (11) formant une cavité (22) qui est limitée d'un premier côté par la membrane (15) et d'un deuxième côté par le support de substrat (11) ; un élément réfléchissant (16) qui est disposé dans la cavité (22) sur le deuxième côté sur le support de substrat (11).
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten