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1. WO2018185148 - GASSENSOR MIT MIKROMECHANISCHEM MEMBRANAUFBAU

Veröffentlichungsnummer WO/2018/185148
Veröffentlichungsdatum 11.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/058583
Internationales Anmeldedatum 04.04.2018
IPC
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
27
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Anwendung elektrischer, elektrochemischer oder magnetischer Mittel
02
durch Ermittlung der Impedanz
04
durch Untersuchen des Widerstandes
12
eines festen Körpers in Abhängigkeit von der Absorption einer Flüssigkeit; eines festen Körpers in Abhängigkeit von der Reaktion mit einem fließfähigen Medium
G01N 27/12 (2006.01)
CPC
G01N 27/128
Anmelder
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Werner-von-Siemens-Straße 1 80333 München, DE
Erfinder
  • HEDLER, Harry; DE
  • POHLE, Roland; DE
  • ZAPF, Jörg; DE
  • VON SICARD, Oliver; DE
Prioritätsdaten
10 2017 205 982.607.04.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) GASSENSOR MIT MIKROMECHANISCHEM MEMBRANAUFBAU
(EN) GAS SENSOR HAVING A MICROMECHANICAL MEMBRANE STRUCTURE
(FR) CAPTEUR DE GAZ À STRUCTURE MEMBRANAIRE MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Gassensor umfassend ein Substrat mit einem mikromechanischen Membranaufbau, wobei: - das Substrat einen Chiprahmen umfasst, - das Substrat wenigstens eine erste und eine zweite Membran umfasst, die voneinander beabstandet sind und mittels Stegen am Chiprahmen befestigt sind, - wenigstens eine erste der Membranen einen Heizmäander, insbesondere einen metallischen Heizmäander, zur elektrischen Beheizung aufweist, - wenigstens die erste Membran eine Schicht eines ersten gassensitiven Halbleitermaterials aufweist.
(EN)
The invention relates to a gas sensor comprising a substrate having a micromechanical membrane structure wherein: the substrate has a chip frame; the substrate comprises at least one first and one second membrane which are mounted at a distance from each other and are secured to the chip frame by means of webs; at least one first membrane comprises a heating element, in particular a metallic heating element, for electrical heating, and at least the first membrane comprises a layer made from a first gas sensitive semiconductor material.
(FR)
L’invention concerne un capteur de gaz comprenant un substrat ayant une structure membranaire micromécanique. Le substrat comprend un cadre de puce. Le substrat comprend au moins des première et deuxième membranes espacées l’une de l’autre et fixées au cadre de puce au moyen de nervures. Au moins une première des membranes comporte un méandre chauffant, en particulier un méandre chauffant métallique, destiné au chauffage électrique. Au moins la première membrane comporte une couche d’une première matière semi-conductrice sensible aux gaz
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten