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1. WO2018184772 - MIKROMECHANISCHER KAPAZITIVER SENSOR

Veröffentlichungsnummer WO/2018/184772
Veröffentlichungsdatum 11.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/055123
Internationales Anmeldedatum 01.03.2018
IPC
G Physik
01
Messen; Prüfen
P
Messen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
15
Messen der Beschleunigung; Messen der Verzögerung; Messen des Stoßes bei einer plötzlichen Beschleunigung
02
durch Anwendung von Trägheitskräften
08
mit Umwandlung in elektrische oder magnetische Größen
125
durch kapazitive Umformer
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9
Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
12
unter Ausnutzung von Kapazitätsänderungen
G Physik
01
Messen; Prüfen
D
Anzeigen oder Aufzeichnen in Verbindung mit Messen allgemein; Einrichtungen oder Instrumente zum Messen von zwei oder mehr Veränderlichen, soweit nicht von einer anderen Unterklasse umfasst; Tarifmessgeräte; Übertragungs- oder Umwandlungseinrichtungen, die nicht an eine spezielle Veränderliche angepasst sind; Messen oder Prüfen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
5
Mechanische Vorrichtungen zur Übertragung des Ausgangssignals eines Abtast-Elements; Einrichtungen zum Umformen des Ausgangssignals des Abtast-Elements in eine andere Veränderliche wobei die Art und Beschaffenheit des Abtast-Elements nicht die Mittel des Umformens bedingt; Messgrößenumwandler, die nicht an eine spezielle Veränderliche angepasst sind
12
mit elektrischen oder magnetischen Mitteln
14
Messwertumformung durch Beeinflussung der Größe eines Stromes oder einer Spannung
24
Messwertumformung durch Änderung von Kapazitäten
241
durch Relativbewegung der Platten eines Kondensators
G Physik
01
Messen; Prüfen
P
Messen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
21
Prüfen oder Eichen von Geräten oder Vorrichtungen, soweit sie von den anderen Gruppen dieser Unterklasse umfasst sind
G Physik
01
Messen; Prüfen
K
Messen der Temperatur; Messen von Wärmemengen; Temperaturfühler, soweit nicht anderweitig vorgesehen
7
Temperaturmessungen, die auf der Anwendung elektrischer oder magnetischer, unmittelbar auf Wärme ansprechender Elemente beruhen
34
mit kapazitiven Elementen
G Physik
01
Messen; Prüfen
P
Messen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
15
Messen der Beschleunigung; Messen der Verzögerung; Messen des Stoßes bei einer plötzlichen Beschleunigung
02
durch Anwendung von Trägheitskräften
08
mit Umwandlung in elektrische oder magnetische Größen
G01P 15/125 (2006.01)
G01L 9/12 (2006.01)
G01D 5/241 (2006.01)
G01P 21/00 (2006.01)
G01K 7/34 (2006.01)
G01P 15/08 (2006.01)
CPC
G01D 5/2417
G01K 7/34
G01L 9/12
G01P 15/125
G01P 2015/0814
G01P 21/00
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder
  • BECKER, Steffen; DE
  • JEMILI, Amin; DE
  • ROEWER, Falk; DE
Prioritätsdaten
10 2017 205 979.607.04.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHER KAPAZITIVER SENSOR
(EN) MICROMECHANICAL CAPACITIVE SENSOR
(FR) CAPTEUR CAPACITIF MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Mikromechanischer kapazitiver Sensor (100) aufweisend: - eine MEMS-Einrichtung (10) mit einer beweglichen Masseelektrode (CM) und einer definierten Anzahl von Ausleseelektroden (CON, COP), die mit der beweglichen Masseelektrode (CM) zusammenwirkbar ausgebildet sind, um elektrische Ladungsverschiebungen auf den Ausleseelektroden (CON, COP) aufgrund einer Bewegung der Masseelektrode (CM) zu erfassen; und - eine Ansteuereinrichtung (20), die ausgebildet ist, die Masseelektrode (CM) mit wenigstens zwei unterschiedlichen Frequenzen (f1, f2) anzusteuern und elektrische Ladungen zu erfassen; wobei die erfassten elektrischen Ladungen mit erfassten elektrischen Ladungen eines Kalibrierprozesses vergleichbar sind.
(EN)
The invention relates to a micromechanical capacitive sensor (100), having: - a MEMS device (10) with a movable ground electrode (CM) and a defined number of readout electrodes (CON, COP) which are designed to interact with the movable ground electrode (CM) in order to detect electric charge displacements on the readout electrodes (CON, COP) as a result of a movement of the ground electrode (CM); and - an actuation device (20) which is designed to actuate the ground electrode (CM) at at least two different frequencies (f1, f2) and detect electric charges, wherein the detected electric charges can be compared with detected electric charges of a calibration process.
(FR)
L'invention concerne un capteur (100) capacitif micromécanique comportant : un dispositif MEMS (10) pourvu d'une électrode de masse (CM) mobile et d'un nombre défini d'électrodes de lecture (CON, COP),qui sont réalisées de manière à pouvoir coopérer avec l'électrode de masse (CM) mobile pour détecter des déplacements de charge électrique sur les électrodes de lecture (CON, COP) du fait d'un déplacement de l'électrode de masse (CM) ; et un dispositif de commande (20) qui est réalisé pour commander l'électrode de masse (CM) avec au moins deux fréquences (f1, f2) différentes et pour détecter des charges électriques. Les charges électriques détectées peuvent être comparées à des charges électriques détectées d'un processus d'étalonnage.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten