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1. (WO2018184634) VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES ULTRASCHALLMOTORS

Pub. No.:    WO/2018/184634    International Application No.:    PCT/DE2018/100301
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Apr 05 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01L 41/04
H02N 2/00
H02N 2/02
H02N 2/10
Applicants: PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG
Inventors: WISCHNEWSKIY, Wladimir
WISCHNEWSKI, Alexej
Title: VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES ULTRASCHALLMOTORS
Abstract:
Verfahren zum Betreiben eines Ultraschallmotors mit einem Ultraschallaktuator in Form einer Platte und einer zur Anregung des Ultraschallaktuators vorgesehenen elektrischen Erregervorrichtung, wobei der Ultraschallaktuator wenigstens vier identische Volumenbereiche umfasst, die sowohl symmetrisch bezüglich einer Quersymmetrieebene als auch symmetrisch bezüglich einer Längssymmetrieebene des Ultraschallaktuators angeordnet sind, und jeder der Volumenbereiche sowohl einen Generator zur Ausbildung akustischer Stehwellen, als auch einen Generator zur Ausbildung statischer Biegedeformationen bildet, wobei die elektrische Erregervorrichtung wenigsten eine elektrische Wechselspannung (U1) und zwei statische elektrische Spannungen (E1, E2) bereitstellt, und in einem dynamischen Betriebsmodus die wenigstens eine Wechselspannung (U1) gleichzeitig an zwei der Generatoren angelegt wird zur Ausbildung einer akustischen Stehwelle in dem Ultraschallaktuator, und in einem statischen Betriebsmodus die zwei statischen elektrischen Spannungen (E1, E2) gleichzeitig an alle Generatoren angelegt werden zur Ausbildung einer statischen Biegedeformation des Ultraschallaktuators.