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1. (WO2018179890) INSPECTION SYSTEM, WAFER MAP DISPLAY, WAFER MAP DISPLAY METHOD, AND COMPUTER PROGRAM
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Veröff.-Nr.: WO/2018/179890 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/004408
Veröffentlichungsdatum: 04.10.2018 Internationales Anmeldedatum: 08.02.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01R 31/26 (2014.01) ,G01R 31/28 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
66
Prüfen oder Messen während der Herstellung oder Behandlung
G Physik
01
Messen; Prüfen
R
Messen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
31
Anordnungen zum Prüfen auf elektrische Eigenschaften; Anordnungen zur Bestimmung des Ortes elektrischer Fehler; Anordnungen zum elektrischen Prüfen, gekennzeichnet durch den zu prüfenden Gegenstand, soweit nicht anderweitig vorgesehen
26
Prüfen von einzelnen Halbleiter-Elementen
G Physik
01
Messen; Prüfen
R
Messen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
31
Anordnungen zum Prüfen auf elektrische Eigenschaften; Anordnungen zur Bestimmung des Ortes elektrischer Fehler; Anordnungen zum elektrischen Prüfen, gekennzeichnet durch den zu prüfenden Gegenstand, soweit nicht anderweitig vorgesehen
28
Prüfen elektronischer Schaltungen, z.B. Signalverfolger
Anmelder:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
Erfinder:
内田 伸 UCHIDA Shin; JP
加賀美 徹也 KAGAMI Tetsuya; JP
Vertreter:
高山 宏志 TAKAYAMA Hiroshi; JP
Prioritätsdaten:
2017-06704730.03.2017JP
Titel (EN) INSPECTION SYSTEM, WAFER MAP DISPLAY, WAFER MAP DISPLAY METHOD, AND COMPUTER PROGRAM
(FR) SYSTÈME D'INSPECTION, AFFICHAGE DE CARTE DE TRANCHE, PROCÉDÉ D'AFFICHAGE DE CARTE DE TRANCHE ET PROGRAMME INFORMATIQUE
(JA) 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム
Zusammenfassung:
(EN) An inspection system (100) is provided with a prober (200) and a tester (300). The tester (300) comprises: a plurality of tester module boards (33) on which a plurality of LSIs respectively corresponding to a plurality of devices under test (DUT) are mounted; a display unit (44) which displays a wafer map indicating inspection results of the plurality of DUTs and/or a self-diagnosis result of the tester (300); and a tester control unit (35) which includes a wafer map write application (60) for writing the wafer map displayed on the display unit (44). The wafer map write application (60) causes the inspection results and/or the self-diagnosis result to be displayed for each of the plurality of DUTs in a stepwise manner. In the wafer map, the plurality of DUTs are respectively tied with the plurality of LSIs mounted on the plurality of tester module boards (33).
(FR) L'invention concerne un système d'inspection (100) comprenant une sonde (200) et un testeur (300). Le testeur (300) comprend : une pluralité de cartes de module de testeur (33) sur lesquelles une pluralité de LSI correspondant respectivement à une pluralité de dispositifs en cours de test (DUT) sont montés; une unité d'affichage (44) qui affiche une carte de tranche indiquant des résultats d'inspection de la pluralité de DUT et/ou un résultat d'auto-diagnostic du testeur (300); et une unité de commande de testeur (35) qui comprend une application d'écriture de carte de tranche (60) pour écrire la carte de tranche affichée sur l'unité d'affichage (44). L'application d'écriture de carte de tranche (60) fait que les résultats d'inspection et/ou le résultat d'auto-diagnostic sont affichés pour chacun de la pluralité de DUT pas à pas. Dans la carte de tranche, la pluralité de DUT est respectivement liée à la pluralité de LSI montés sur la pluralité de cartes de module de testeur (33).
(JA) 検査システム(100)は、プローバ(200)と、テスタ(300)とを備える。テスタ(300)は、複数のDUTの各々に対応するLSIを複数搭載した複数のテスタモジュールボード(33)と、複数のDUTの検査結果および/またはテスタ(300)の自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部(44)、および表示部(44)に表示するウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーション(60)を有するテスタ制御部(35)とを有し、ウエハマップ描画アプリケーション(60)は、検査結果および/または自己診断結果を複数のDUTの各々に段階的に表示するとともに、ウエハマップにおける複数のDUTの各々が、複数のテスタモジュールボード(33)に搭載された複数のLSIの各々に紐付けられている。
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)