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1. (WO2018179201) SUCTION APPARATUS, CARRIER APPARATUS, AND EL DEVICE MANUFACTURING APPARATUS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2018/179201 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2017/013182
Veröffentlichungsdatum: 04.10.2018 Internationales Anmeldedatum: 30.03.2017
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,B23Q 3/08 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683
zum Aufnehmen oder Greifen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
23
Werkzeugmaschinen; Metallbearbeitung, soweit nicht anderweitig vorgesehen
Q
Einzelheiten, Bestandteile oder Zubehör für Werkzeugmaschinen, z.B. Anordnungen zum Kopieren oder Steuern; Werkzeugmaschinen allgemein in Bezug auf die Bauart bestimmter Einzelheiten oder Bestandteile; Kombinationen oder Aneinanderreihungen von Metallbearbeitungsmaschinen, die nicht auf ein bestimmtes Metallbearbeitungsergebnis ausgerichtet sind
3
Vorrichtungen zum Halten, Unterstützen oder Ausrichten von Werkstücken oder Werkzeugen, die normalerweise von der Maschine entfernbar sind
02
zum Aufspannen auf einem Arbeitstisch, einem Werkzeugschlitten oder einem entsprechenden Teil
06
Werkstück-Spannmittel
08
nichtmechanisch betätigt
Anmelder:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
Erfinder:
間城 文彦 MASHIRO, Fumihiko; --
Vertreter:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
Prioritätsdaten:
Titel (EN) SUCTION APPARATUS, CARRIER APPARATUS, AND EL DEVICE MANUFACTURING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ASPIRATION, APPAREIL SUPPORT ET APPAREIL DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTROLUMINESCENT
(JA) 吸着装置、運搬装置、ELデバイス製造装置
Zusammenfassung:
(EN) Provided is a suction apparatus capable of suppressing deformation of a subject, said deformation being occurred due to suction. A suction apparatus (100) is provided with one or more suction pads, and sucks a lower surface film (10) via the suction pads. The suction pads are formed of a porous material having an average pore diameter of 1.0 μm or less.
(FR) L'invention concerne un appareil d'aspiration apte à supprimer la déformation d'un sujet, ladite déformation étant survenue en raison de l'aspiration. Un appareil d'aspiration (100) est pourvu d'une ou de plusieurs ventouses et aspire un film de surface inférieure (10) par l'intermédiaire des ventouses. Les ventouses sont formées d'un matériau poreux ayant un diamètre de pore moyen de 1,0 µm ou moins.
(JA) 吸着による対象物の変形を抑制できる吸着装置を提供する。 吸着装置(100)は、1つ以上の吸着パッドを備え、下面フィルム(10)を、前記吸着パッドを介して吸着する吸着装置であって、前記吸着パッドは、平均孔径が1.0μm以下である多孔質材料で形成されている。
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Afrikanische regionale Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)