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1. (WO2018178289) PLASMAGENERATOR, PLASMA-BEHANDLUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM GEPULSTEN BEREITSTELLEN VON ELEKTRISCHER LEISTUNG

Pub. No.:    WO/2018/178289    International Application No.:    PCT/EP2018/058193
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018
IPC: H01J 37/32
Applicants: CENTROTHERM INTERNATIONAL AG
Inventors: SCHULZ, Sebastian Hubertus
PERNAU, Thomas
NACHBAUER, Florian
WALK, Felix
Title: PLASMAGENERATOR, PLASMA-BEHANDLUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM GEPULSTEN BEREITSTELLEN VON ELEKTRISCHER LEISTUNG
Abstract:
Es sind Plasmagenerator und ein Verfahren zum gepulsten Bereitstellen von elektrischer Leistung mit einer Frequenz von wenigstens 40KHz an wenigstens zwei Prozesskammern, beschrieben. Der Plasmagenerator weist folgendes auf: eine Steuereinheit die geeignet ist Prozessdaten über Prozesse in den wenigstens zwei Prozesskammern zu erhalten und auszuwerten, ein regelbares Netzteil mit einem Ausgang, das geeignet ist ansprechend auf ein Steuersignal von der Steuereinheit an seinem Ausgang einen Gleichstrom mit einer vorbestimmten Spannung und/oder Stärke auszugeben, und eine Schalteinheit mit einem ersten Eingang, der mit dem Ausgang des Netzteils verbunden ist, und mit wenigstens zwei Schalteinheitsausgängen zur jeweiligen Verbindung mit einer der wenigstens zwei Prozesskammern. Die Schalteinheit ist geeignet, aus einem Gleichstrom am Eingang einen Wechselstrom mit einer vorbestimmten Frequenz von wenigstens 40KHz als ein Ausgangssignal zu formen und das Ausgangssignal ansprechend auf ein Steuersignal von der Steuereinheit, als Puls selektiv für vorbestimmte Pulsdauer an einen der Schalteinheitsausgänge auszugeben. Die Steuereinheit ist geeignet Leistungsanforderungen der wenigstens zwei Prozesskammern zu koordinieren und das Netzteil und die Schalteinheit derart anzusteuern, dass an den jeweiligen mit den Prozesskammern in Verbindung stehenden Schalteinheitsausgängen jeweils im Wesentlichen die den Leistungsanforderungen entsprechende Leistung über einen Zeitraum als Pulse zur Verfügung gestellt wird, wobei die Pulse der jeweiligen Prozesskammern so zeitlich so zueinander versetzt sind, dass die Prozesskammern zeitgleich betrieben werden können.