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1. WO2018177922 - MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES MIKROMECHANISCHEN DRUCKSENSORS

Veröffentlichungsnummer WO/2018/177922
Veröffentlichungsdatum 04.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/057433
Internationales Anmeldedatum 23.03.2018
IPC
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
19
Einzelheiten von oder Zubehör für Apparate zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines fließfähigen Mediums insoweit, als solche Einzelheiten oder solches Zubehör nicht besonderen Arten von Druckmessern eigentümlich sind
14
Gehäuse
B Arbeitsverfahren; Transportieren
29
Verarbeiten von Kunststoffen; Verarbeiten von Stoffen in plastischem Zustand allgemein
C
Formen oder Verbinden von Kunststoffen; Formen von Stoffen in plastischem Zustand allgemein; Nachbehandlung geformter Erzeugnisse, z.B. Reparieren
45
Formgebung durch Spritzgießen, d.h. Einpressen des erforderlichen Volumens der Formmasse durch eine Düse in eine geschlossene Form; Vorrichtungen hierfür
14
unter Einbringung vorgeformter Teile oder Schichten, z.B. Spritzgießen um Einlagen herum oder zum Beschichten von Gegenständen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
7
Mikrostruktursysteme
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9
Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
G01L 19/14 (2006.01)
B29C 45/14 (2006.01)
B81B 7/00 (2006.01)
G01L 9/00 (2006.01)
CPC
B29C 45/14311
B81B 2201/0257
B81B 2201/0264
B81B 2203/033
B81B 2207/012
B81C 1/00325
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Erfinder
  • DANNENBERG, Arne; DE
  • HENN, Tobias; DE
Prioritätsdaten
10 2017 205 244.928.03.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHER DRUCKSENSOR SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES MIKROMECHANISCHEN DRUCKSENSORS
(EN) MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR PRODUCING SAID MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU CAPTEUR DE PRESSION MICROMÉCANIQUE
Zusammenfassung
(DE)
Mikromechanischer Drucksensor (10), aufweisend einen in einem Siliziumsubstrat (11) in einem drucksensitiven Bereich (A) ausgebildeten Sensorkern mit einer Sensormembran (12), wobei an der Sensormembran (12) eine erste Kavität (13) in dem Siliziumsubstrat (11) ausgebildet ist; eine zwischen einer rückseitigen Oberfläche des Siliziumsubstrat (11) und dem Sensorkern ausgebildete zweite Kavität (18), wobei von der rückseitigen Oberfläche des Siliziumsubstrats (11) ausgehende Zugangslöcher (17) mit der zweiten Kavität (18) verbunden sind; und mindestens eine von der rückseitigen Oberfläche ausgehende Verankerungsvertiefung (16) in einem den drucksensitiven Bereich umschließenden Verankerungsbereich (B) des Siliziumsubstrats (11) ausgebildet ist, wobei die Verankerungsvertiefung (16) so ausgebildet ist, dass eine Moldmasse in die Verankerungsvertiefung (16) fließen kann.
(EN)
The invention relates to a micromechanical pressure sensor (10), having a sensor core, formed in a silicon substrate (11) in a pressure-sensitive region (A), having a sensor membrane (12), wherein a first cavity (13) is formed in the silicon substrate (11) on the sensor membrane (12); a second cavity (18) formed between a rear-side surface of the silicon substrate (11) and the sensor core, wherein access holes (17) proceeding from the rear-side surface of the silicon substrate (11) are connected to the second cavity (18); and at least one anchoring recess (16) proceeding from the rear-side surface is formed in an anchoring region (B) of the silicon substrate (11) surrounding the pressure-sensitive region, wherein the anchoring recess (16) is designed such that a mold mass can flow into the anchoring recess (16).
(FR)
L’invention concerne un capteur de pression (10) micromécanique, comprenant un noyau de capteur réalisé dans un substrat de silicium (11) dans une zone (A) sensible à la pression comportant une membrane de capteur (12), une première cavité (13) étant réalisée dans le substrat de silicium (11) contre la membrane de capteur (12) ; une deuxième cavité (18) réalisée entre une surface arrière du substrat de silicium (11) et le noyau de capteur, des trous d’accès (17) sortant de la surface arrière du substrat de silicium (11) étant reliés à la deuxième cavité (18) ; et au moins un creux d’ancrage (16) sortant de la surface arrière dans une zone d’ancrage (B) du substrat de silicium (11) entourant la zone sensible à la pression étant réalisé, le creux d’ancrage (16) étant réalisé de telle sorte qu’une masse moulée peut s’écouler dans le creux d’ancrage (16).
Auch veröffentlicht als
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