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1. WO2018177853 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES

Veröffentlichungsnummer WO/2018/177853
Veröffentlichungsdatum 04.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/057229
Internationales Anmeldedatum 22.03.2018
IPC
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
04
Beschichten ausgewählter Oberflächenbereiche, z.B. unter Verwendung von Masken
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
54
Steuern oder Regeln des Beschichtungsvorganges
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
29
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen mittels Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen; Sichtbarmachen des Inneren von Gegenständen durch Übertragen von Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen durch den Gegenstand
02
Analysieren von Flüssigkeiten oder Gasen [Fluids]
036
durch Messung der Frequenz oder Resonanz akustischer Wellen
C23C 14/04 (2006.01)
C23C 14/54 (2006.01)
G01N 29/036 (2006.01)
CPC
C23C 14/12
C23C 14/544
C23C 16/455
G01N 2291/014
G01N 2291/0256
G01N 2291/02809
Anmelder
  • AIXTRON SE [DE/DE]; Dornkaulstraße 2 52134 Herzogenrath, DE
Erfinder
  • LONG, Michael; DE
Vertreter
  • GRUNDMANN, Dirk; DE
  • MÜLLER, Enno; DE
  • RIEDER, Hans-Joachim; DE
  • BRÖTZ, Helmut; DE
  • BOURREE, Hendrik; DE
Prioritätsdaten
10 2017 106 968.231.03.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES
(EN) DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING THE CONCENTRATION OF A VAPOR
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ SERVANT À DÉTERMINER LA CONCENTRATION D'UNE VAPEUR
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung des Partialdrucks oder der Konzentration eines Dampfes in einem Volumen (2) mit einem in eine Os- zillation bringbaren, auf eine Temperatur unterhalb der Kondensationstempe- raturdes Dampfes temperierbaren Sensorkörper (5), dessen Oszillationsfre- quenz durch eine auf seiner Sensoroberfläche (6) von kondensiertem Dampf gebildete Massenanhäufung beeinflusst wird, wobei die von der Sensoroberflä- che (6) weg weisende Rückseite (7) des Sensorkörpers (5) an einer Wärmeüber- tragungsfläche (9) eines Wärmeübertragungskörpers anliegt. Der Wärmeüber- tragungskörper wird von einem elektrisch beheizbaren Heizelement (8) ausge- bildet, das mit einer von der Wärmeübertragungsfläche (9) verschiedenen Wärmeableitfläche (18) wärmeleitend mit einem Kühlelement (11) verbunden ist, wobei die Wärmeübertragungsfläche (9) im Wesentlichen parallel zur Wär- meableitfläche (18) verläuft
(EN)
The invention relates to a device for determining the partial pressure or concentration of a vapor in a volume (2) having a sensor element (5), which can be caused to oscillate and temperature-controlled to a temperature below the condensation temperature of the vapor, and which has an oscillation frequency that is influenced by a mass accumulation formed by condensed vapor on the sensor surface (6) thereof, wherein the rear side (7) of the sensor element (5) pointing away from the sensor surface (6) contacts a thermal transfer surface (9) of a thermal transfer element. The thermal transfer element is formed from an electrically heatable heating element (8), which is connected to a cooling element (11) in a thermally conductive manner by a thermal dissipation surface (18), which is different from the thermal transfer surface (9), wherein the thermal transfer surface (9) extends substantially parallel to the thermal dissipation surface (18).
(FR)
L'invention concerne un dispositif servant à déterminer la pression partielle ou la concentration d'une vapeur dans un volume (2) à l'aide d'un corps de capteur (5) pouvant être amené en oscillation et dont la température peut être réglée à une température inférieure à la température de condensation de la vapeur, dont la fréquence d'oscillation est influencée par une accumulation de masse formée par la vapeur condensée sur la surface de capteur (6), la face arrière (7) opposée à la surface de capteur (6) du corps de capteur (5) reposant contre une surface de transfert de chaleur (9) d'un corps de transfert de chaleur. Le corps de transfert de chaleur est constitué d'un élément chauffant (8) pouvant être chauffé électriquement, qui est relié à un élément de refroidissement (11) de manière thermoconductrice à l'aide d'une surface d'évacuation de chaleur (18) distincte de la surface de transfert de chaleur (9), la surface de transfert de chaleur (9) étant sensiblement parallèle à la surface d'évacuation de chaleur (18).
Auch veröffentlicht als
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