In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

1. WO2018177852 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES

Veröffentlichungsnummer WO/2018/177852
Veröffentlichungsdatum 04.10.2018
Internationale Veröffentlichungsnummer PCT/EP2018/057227
Internationales Anmeldedatum 22.03.2018
IPC
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
29
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen mittels Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen; Sichtbarmachen des Inneren von Gegenständen durch Übertragen von Ultraschall-, Schall- oder Infraschallwellen durch den Gegenstand
02
Analysieren von Flüssigkeiten oder Gasen [Fluids]
036
durch Messung der Frequenz oder Resonanz akustischer Wellen
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
04
Beschichten ausgewählter Oberflächenbereiche, z.B. unter Verwendung von Masken
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
54
Steuern oder Regeln des Beschichtungsvorganges
G01N 29/036 (2006.01)
C23C 14/04 (2006.01)
C23C 14/54 (2006.01)
CPC
C23C 14/04
C23C 14/042
C23C 14/12
C23C 14/54
C23C 14/542
C23C 14/543
Anmelder
  • AIXTRON SE [DE/DE]; Dornkaulstraße 2 52134 Herzogenrath, DE
Erfinder
  • OFFERMANNS, Arno; DE
  • OLIGSCHLAEGER, Robert Bartholomeus Jacques; DE
Vertreter
  • GRUNDMANN, Dirk; DE
  • MÜLLER, Enno; DE
  • RIEDER, Hans-Joachim; DE
  • BRÖTZ, Helmut; DE
  • BOURREE, Hendrik; DE
Prioritätsdaten
10 2017 106 967.431.03.2017DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER KONZENTRATION EINES DAMPFES
(EN) DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING THE CONCENTRATION OF A STEAM
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE LA CONCENTRATION D’UNE VAPEUR
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft Vorrichtung zur Bestimmung des Partialdrucks oder der Konzentration eines Dampfes in einem Volumen (2) mit einem in eine Oszillation bringbaren, auf eine Temperatur unterhalb der Kondensationstemperatur des Dampfes temperierbaren Sensorkörper (5), dessen Oszillationsfrequenz durch eine aus einer Sensoroberfläche (6) vom kondensierten Dampf gebildete Massenanhäufung beeinflusst wird, wobei Mittel zur Erzeugung eines Gasstroms von der Sensoroberfläche (6) durch einen an ein Fenster (3) zum Volumen (2) angrenzenden Dampftransportkanal (20) in Richtung des Volumens (2) vorgesehen sind. Um die Vorrichtung verfahrenstechnisch zu verbessern und insbesondere die maximale Lebensdauer des Sensorkörpers zu erhöhen, schlägt die Erfindung vor, dass die Mittel zur Erzeugung eines Gasstroms eine als Ringkanal (16) ausgebildete Breitschlitzdüse aufweisen.
(EN)
The invention relates to a device for determining the partial pressure or the concentration of a steam in a volume (2), comprising a sensor body (5) which can be oscillated, the temperature of which can be controlled to a temperature below the condensation temperature of the steam, and the oscillation frequency of which is influenced by a mass accumulation of the condensed steam on a sensor surface (6), wherein means are provided for generating a gas flow from the sensor surface (6) in the direction of the volume (2) through a steam transport channel (20), which adjoins a window (3) to the volume (2). The aim of the invention is to improve the method for the device and increase the maximum service life of the sensor body in particular. According to the invention, this is achieved in that the means for generating a gas flow has a slit nozzle designed as an annular channel (16).
(FR)
L’invention concerne un dispositif destiné à déterminer la pression partielle ou la concentration d’une vapeur dans un volume (2) au moyen d’un corps de capteur (5) qui peut être amené en une oscillation, qui peut être équilibré à une température inférieure à la température de condensation de la vapeur et dont la fréquence d’oscillation est influencée par l’accumulation de masse formée par de la vapeur condensée à partir d’une surface de capteur (6). Des moyens sont prévus pour générer un flux de gaz de la surface de capteur (6) en direction du volume (2) par le biais d’un canal de transport de vapeur (20) adjacente à une fenêtre (3) donnant sur volume (2). Afin d’améliorer le dispositif du point de vue de la technique de procédé, et notamment d’augmenter la durée de vie maximale du corps de capteur, l’invention propose que les moyens de génération d’un flux de gaz comporte une buse à large fente conformée en un canal annulaire (16).
Auch veröffentlicht als
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten