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1. WO2018177840 - OPTICAL ASSEMBLY FOR GUIDING AN OUTPUT BEAM OF A FREE ELECTRON LASER

Veröffentlichungsnummer WO/2018/177840
Veröffentlichungsdatum 04.10.2018
Internationales Aktenzeichen PCT/EP2018/057167
Internationales Anmeldedatum 21.03.2018
IPC
G03F 7/20 2006.1
GSektion G Physik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20Belichten; Vorrichtungen dafür
G02B 17/08 2006.1
GSektion G Physik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
17Systeme mit reflektierenden Flächen, mit oder ohne brechende Elemente
08Spiegel-Linsen-Systeme
G02B 5/02 2006.1
GSektion G Physik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
5Optische Elemente außer Linsen
02Lichtstreuende Elemente; afokale Elemente
G02B 5/08 2006.1
GSektion G Physik
02Optik
BOptische Elemente, Systeme oder Geräte
5Optische Elemente außer Linsen
08Spiegel
CPC
G02B 17/0605
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
17Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
02Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
06using mirrors only ; , i.e. having only one curved mirror
0605using two curved mirrors
G02B 17/0892
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
17Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
08Catadioptric systems
0892specially adapted for the UV
G02B 27/286
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
28for polarising
286for controlling or changing the state of polarisation, e.g. transforming one polarisation state into another
G02B 27/288
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
28for polarising
288Filters employing polarising elements, e.g. Lyot or Solc filters
G02B 5/0215
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
02Diffusing elements; Afocal elements
0205characterised by the diffusing properties
021the diffusion taking place at the element's surface, e.g. by means of surface roughening or microprismatic structures
0215the surface having a regular structure
G02B 5/0221
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
02Diffusing elements; Afocal elements
0205characterised by the diffusing properties
021the diffusion taking place at the element's surface, e.g. by means of surface roughening or microprismatic structures
0221the surface having an irregular structure
Anmelder
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE]/[DE]
Erfinder
  • PATRA, Michael
Vertreter
  • RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB
Prioritätsdaten
10 2017 205 548.031.03.2017DE
Veröffentlichungssprache Englisch (en)
Anmeldesprache Englisch (EN)
Designierte Staaten
Titel
(EN) OPTICAL ASSEMBLY FOR GUIDING AN OUTPUT BEAM OF A FREE ELECTRON LASER
(FR) ENSEMBLE OPTIQUE POUR GUIDER UN FAISCEAU DE SORTIE D’UN LASER À ÉLECTRONS LIBRES
Zusammenfassung
(EN) An optical assembly (13) serves to guide an output beam (2a) of a free electron laser (FEL, 2) to a downstream illumination-optical assembly (15) of an EUV projection exposure apparatus. The optical assembly (13) has a first and a second GI mirror (23, 25), each with a structured reflection surface (24, 26) to be impinged upon by the output beam (2a). A fist angle of incidence (α1) on the first GI mirror (23) is greater than 1 mrad and less than 10 mrad. A maximum first scattering angle is produced, amounting to at least 50% and at most 100% of the first angle of incidence (α1). A second angle of incidence (α2) on the second GI mirror (25) is at least twice as large as the first angle of incidence (ai). A maximum second scattering angle of the output beam (2a) amounts to at least 30% and at most 100% of the second angle of incidence (α2). The two planes of incidence (yz, xy) on the two GI mirrors (23, 25) include an angle with respect to one another that is greater than 45°. This results in an optical assembly with which an output beam of an FEL can be guided reliably and with a sufficient service life of the optical component parts. A hollow waveguide assembly having two electrodes and an ionization light source may be a constituent part of such an optical assembly (13). A magnet arrangement having at least one magnet pole shoe pair may likewise be a constituent part of such an optical assembly (13).
(FR) Un ensemble optique (13) sert à guider un faisceau de sortie (2a) d’un laser à électrons libres (FEL, 2) vers un ensemble optique d’éclairage en aval (15) d’un appareil d’exposition par projection EUV. L’ensemble optique (13) comporte un premier et un deuxième miroir GI (23, 25), chacun ayant une surface de réflexion structurée (24, 26) sur laquelle le faisceau de sortie (2a) est incident. Un premier angle d’incidence (α1) sur le premier miroir GI (23) est supérieur à 1 mrad et inférieur à 10 mrad. Un premier angle de diffusion maximal est produit, représentant au moins 50 % et au plus 100 % du premier angle d’incidence (α1). Un deuxième angle d’incidence (α2) sur le deuxième miroir GI (25) est au moins deux fois plus élevé que le premier angle d’incidence (ai). Un deuxième angle de diffusion maximal du faisceau de sortie (2a) représente au moins 30 % et au plus 100 % du deuxième angle d’incidence (α2). Les deux plans d’incidence (yz, xy) sur les deux miroirs GI (23, 25) incluent un angle l’un par rapport à l’autre qui est supérieur à 45°. Cela conduit à un ensemble optique avec lequel un faisceau de sortie d’un FEL peut être guidé de façon fiable et avec une durée de vie suffisante des pièces de composant optique. Un ensemble de guide d’ondes creux ayant deux électrodes et une source de lumière d’ionisation peut être une partie constitutive d’un tel ensemble optique (13). Un agencement d’aimants comportant au moins une paire d’épanouissements polaires d’aimant peut, de manière similaire, être une partie constitutive d’un tel ensemble optique (13).
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