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1. (WO2018177747) VERFAHREN ZUM DETEKTIEREN VON PARTIKELN AN DER OBERFLÄCHE EINES OBJEKTS, WAFER UND MASKENBLANK

Pub. No.:    WO/2018/177747    International Application No.:    PCT/EP2018/056352
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 15 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 7/20
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: BEYER, Oliver
GERHARD, Michael
Title: VERFAHREN ZUM DETEKTIEREN VON PARTIKELN AN DER OBERFLÄCHE EINES OBJEKTS, WAFER UND MASKENBLANK
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Detektieren von abgelagerten Partikeln an einer Oberfläche (11) eines Objekts (3, 14), umfassend: Bestrahlen eines Teilbereichs der Oberfläche (11) des Objekts (3, 14) mit Messstrahlung, Detektieren von an dem bestrahlten Teilbereich gestreuter Messstrahlung, sowie Detektieren von Partikeln in dem Teilbereich der Oberfläche des Objekts (3, 14) anhand der detektierten Messstrahlung. Die Oberfläche (11) des Objekts (3, 14) ist bei den Schritten des Bestrahlens und des Detektierens mit einer Antireflex-Beschichtung (13) und/oder mit einer Oberflächenstruktur (15) zur Reduzierung der Reflektivität der Oberfläche (11) für die Messstrahlung (9) versehen, wobei durch die Antireflex-Beschichtung (13) und/oder die Oberflächenstruktur (15) die Partikelnachweisgrenze gesenkt wird. Die Erfindung betrifft auch einen Wafer (3) und einen Maskenblank zur Durchführung des Verfahrens.