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1. (WO2018177680) STRUKTURIERTE BELEUCHTUNG MIT OPTIMIERTER BELEUCHTUNGSGEOMETRIE

Pub. No.:    WO/2018/177680    International Application No.:    PCT/EP2018/055157
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Mar 03 00:59:59 CET 2018
IPC: G02B 21/08
G01N 21/64
G02B 21/14
G06T 7/00
Applicants: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventors: DIEDERICH, Benedict
WARTMANN, Rolf
SCHADWINKEL, Harald
STOPPE, Lars
Title: STRUKTURIERTE BELEUCHTUNG MIT OPTIMIERTER BELEUCHTUNGSGEOMETRIE
Abstract:
Basierend auf einer Referenzmessung wird eine Objektübertragungsfunktion (201) für ein Probenobjekt bestimmt. Basierend auf der Objektübertragungsfunktion und einer Optikübertragungsfunktion (202) für eine Optik wird anschließend eine Optimierung (250) zum Auffinden einer optimierten Beleuchtungsgeometrie durchgeführt.