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1. (WO2018167163) VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES NICHT-THERMISCHEN ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAS UND VERFAHREN ZUR FREQUENZREGELUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN TRANSFORMATORS

Pub. No.:    WO/2018/167163    International Application No.:    PCT/EP2018/056424
Publication Date: Fri Sep 21 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Mar 15 00:59:59 CET 2018
IPC: H05H 1/24
H01L 41/04
Applicants: TDK ELECTRONICS AG
RELYON PLASMA GMBH
Inventors: WEILGUNI, Michael
NETTESHEIM, Stefan
Title: VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES NICHT-THERMISCHEN ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAS UND VERFAHREN ZUR FREQUENZREGELUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN TRANSFORMATORS
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines nicht-thermischen Atmosphärendruck-Plasmas, aufweisend einen piezoelektrischen Transformator (1), eine Ansteuerschaltung (11), die dazu ausgelegt ist, eine Wechselspannung mit einer Ansteuerfrequenz als Eingangsspannung an den piezoelektrischen Transformator (1) anzulegen, und eine Feldsonde (15), die dazu ausgestaltet ist, eine Feldstärke eines von dem piezoelektrischen Transformator (1) erzeugten elektrischen Feldes zu messen, wobei die Ansteuerschaltung (11) dazu ausgestaltet ist, unter Berücksichtigung der Messergebnisse der Feldsonde (15) die Ansteuerfrequenz derart anzupassen, dass die Feldstärke maximiert wird. Gemäß einem weiteren Aspekt betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Frequenzregelung eines piezoelektrischen Transformators.