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1. (WO2018164011) CRYOPUMP
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Veröff.-Nr.: WO/2018/164011 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/008132
Veröffentlichungsdatum: 13.09.2018 Internationales Anmeldedatum: 02.03.2018
IPC:
F04B 37/08 (2006.01) ,F04B 37/16 (2006.01)
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen [insbesondere Pumpen] für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
B
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
37
Pumpen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe und mit besonderen Eigenschaften, soweit nicht in den Gruppen F04B25/-F04B35/164
06
zum Evakuieren durch thermische Mittel
08
durch Kondensieren oder Ausfrieren, z.B. Kryopumpen
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen [insbesondere Pumpen] für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
B
Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
37
Pumpen, besonders ausgebildet für Gase oder Dämpfe und mit besonderen Eigenschaften, soweit nicht in den Gruppen F04B25/-F04B35/164
10
für besondere Zwecke
14
zum Erreichen hohen Vakuums
16
Mittel zum Vermeiden von Totraum
Anmelder:
住友重機械工業株式会社 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 東京都品川区大崎2丁目1番1号 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku Tokyo 1416025, JP
Erfinder:
下村 誠 SHIMOMURA Makoto; JP
Vertreter:
森下 賢樹 MORISHITA Sakaki; JP
Prioritätsdaten:
2017-04644210.03.2017JP
Titel (EN) CRYOPUMP
(FR) POMPE CRYOGÉNIQUE
(JA) クライオポンプ
Zusammenfassung:
(EN) The cryopump 10 is provided with: a freezer 16 comprising a room-temperature part, a first cooling stage, and a second cooling stage; and a cryopump housing 70 comprising a radiation shield thermally coupled to the first cooling stage and surrounding the second cooling stage without making contact with the second cooling stage, a shield housing part 74 which has an intake port 12 and a housing bottom surface 70a disposed on the opposite side from the intake port 12 and which surrounds the radiation shield without making contact with the radiation shield, and a freezer housing part 76 which connects the shield housing part 74 to the room-temperature part 26 of the freezer 16. A first heater 84 disposed on an outer surface of the freezer housing part 76, or a second heater disposed on the housing bottom surface 70a, or a heat transfer member thermally coupled to the first cooling stage and disposed in a gap between the freezer housing part 76 and the freezer 16 is provided so as to apply heat into the cryopump housing 70 from the outside.
(FR) L'invention concerne une pompe cryogénique (10) comportant : un élément de réfrigération (16) comprenant une partie à température ambiante, un premier étage de refroidissement et un second étage de refroidissement ; et un carter de pompe cryogénique (70) comprenant un écran anti-rayonnement accouplé thermiquement au premier étage de refroidissement et entourant le second étage de refroidissement sans entrer en contact avec le second étage de refroidissement, une partie de carter d'écran (74) qui comporte un orifice d'admission (12) et une surface inférieure de carter (70a) disposée sur le côté opposé à l'orifice d'admission (12) et qui entoure l'écran anti-rayonnement sans entrer en contact avec l'écran anti-rayonnement, et une partie de carter d'élément de réfrigération (76) qui relie la partie de carter d'écran (74) à la partie à température ambiante (26) de l'élément de réfrigération (16). Un premier élément chauffant (84) disposé sur une surface externe de la partie de carter d'élément de réfrigération (76), ou un second élément chauffant disposé sur la surface inférieure du carter (70a), ou un élément de transfert de chaleur accouplé thermiquement au premier étage de refroidissement et disposé dans un espace entre la partie de carter d'élément de réfrigération (76) et l'élément de réfrigération (16), est disposé de façon à amener de la chaleur dans le carter de pompe cryogénique (70) depuis l'extérieur.
(JA) クライオポンプ10は、室温部と第1冷却ステージと第2冷却ステージとを備える冷凍機16と、第1冷却ステージに熱的に結合され、第2冷却ステージと非接触に前記第2冷却ステージを囲む放射シールドと、吸気口12を有し、吸気口12と反対側にハウジング底面70aを備え、放射シールドと非接触に放射シールドを囲むシールド収容部74と、シールド収容部74を冷凍機16の室温部26に接続する冷凍機収容部76と、を備えるクライオポンプハウジング70と、を備える。クライオポンプハウジング70の外から中に熱を与えるよう冷凍機収容部76の外面に配置された第1ヒータ84またはハウジング底面70aに配置された第2ヒータ、または、第1冷却ステージに熱的に結合され、冷凍機収容部76と冷凍機16との隙間に配置された伝熱部材が設けられる。
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)