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1. (WO2018162417) ELEKTROSTATISCHER MEMS-AKTOR UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN
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Veröff.-Nr.: WO/2018/162417 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/055349
Veröffentlichungsdatum: 13.09.2018 Internationales Anmeldedatum: 05.03.2018
IPC:
B81B 3/00 (2006.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
81
Mikrostrukturtechnik
B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3
Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.[DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Erfinder: LANGA, Sergiu; DE
CONRAD, Holger; DE
GAUDET, Matthieu; DE
SCHIMMANZ, Klaus; DE
Vertreter: KÖNIG, Andreas; DE
STÖCKELER, Ferdinand; DE
ZIMMERMANN, Tankred; DE
ZINKLER, Franz; DE
HERSINA, Günter; DE
BURGER, Markus; DE
SCHENK, Markus; DE
SCHAIRER, Oliver; DE
PFITZNER, Hannes; DE
Prioritätsdaten:
10 2017 203 722.907.03.2017DE
Titel (EN) ELECTROSTATIC MEMS ACTUATOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
(FR) ACTIONNEUR MEMS ÉLECTROSTATIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
(DE) ELEKTROSTATISCHER MEMS-AKTOR UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN
Zusammenfassung:
(EN) A MEMS comprises a substrate which has a cavity, and a movable element which is arranged in the cavity and comprises a first electrode, a second electrode and a third electrode which is arranged between the first and second electrodes and is fixed in position such that it is electrically insulated from said electrodes in discrete regions. The movable element is designed to execute a movement along a movement direction in a substrate plane in response to an electrical potential between the first electrode and the third electrode or in response to an electrical potential between the second electrode and the third electrode. A dimension of the third electrode perpendicular to the substrate plane is smaller than a dimension of the first electrode and a dimension of the second electrode perpendicular to the substrate plane.
(FR) Un MEMS comprend un substrat pourvu d’une cavité, et un élément mobile disposé dans la cavité et comprenant une première électrode, une deuxième électrode et une troisième électrode disposée entre les première et deuxième électrodes et fixée en étant isolées électriquement de celles-ci dans des zones discrètes. L’élément mobile est conçu pour effectuer un mouvement le long d’une direction de déplacement dans un plan de substrat en réponse à un potentiel électrique entre la première électrode et la troisième électrode ou en réponse à un potentiel électrique entre la deuxième électrode et la troisième électrode. La dimension de la troisième électrode perpendiculairement au plan du substrat est inférieure à la dimension de la première électrode et la dimension de la deuxième électrode perpendiculairement au plan du substrat.
(DE) Ein MEMS umfasst ein Substrat, das eine Kavität aufweist und ein in der Kavität angeordnetes bewegliches Element umfassend eine erste Elektrode, eine zweite Elektrode und eine zwischen der ersten und zweiten Elektrode angeordnete und von denselben an diskreten Bereichen elektrisch isoliert fixierte dritte Elektrode. Das bewegliche Element ist ausgebildet, um ansprechend auf ein elektrisches Potential zwischen der ersten Elektrode und der dritten Elektrode oder um ansprechend auf ein elektrisches Potential zwischen der zweiten Elektrode und der dritten Elektrode eine Bewegung entlang einer Bewegungsrichtung in einer Substratebene auszuführen. Eine Abmessung der dritten Elektrode senkrecht zu der Substratebene ist geringer als eine Abmessung der ersten Elektrode und eine Abmessung der zweiten Elektrode senkrecht zu der Substratebene.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)