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1. (WO2018162385) VERFAHREN ZUM EINBRINGEN ZUMINDEST EINER AUSNEHMUNG IN EIN MATERIAL MITTELS ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG UND ANSCHLIESSENDEM ÄTZPROZESS

Pub. No.:    WO/2018/162385    International Application No.:    PCT/EP2018/055299
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Mar 06 00:59:59 CET 2018
IPC: B23K 26/402
B23K 26/00
C23C 14/12
C23C 14/04
B23K 26/06
B81C 1/00
B23K 26/53
B23K 26/0622
B23K 103/00
Applicants: LPKF LASER & ELECTRONICS AG
Inventors: OSTHOLT, Roman
AMBROSIUS, Norbert
SCHNOOR, Arne
DUNKER, Daniel
Title: VERFAHREN ZUM EINBRINGEN ZUMINDEST EINER AUSNEHMUNG IN EIN MATERIAL MITTELS ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG UND ANSCHLIESSENDEM ÄTZPROZESS
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einbringen zumindest einer Durchbrechung (1) in ein transparentes oder transmissives Glassubstrat (2), wobei das Glassubstrat (2) mittels elektromagnetischer Strahlung, insbesondere eines Lasers entlang einer Strahlachse (s) selektiv modifiziert wird. Indem die Modifikationen in dem Glassubstrat (2) entlang der Strahlachse (s) durch die elektromagnetische Strahlung mit unterschiedlichen Charakteristika, beispielsweise durch unterschiedliche Pulsenergie, erzeugt werden, verläuft der Ätzprozess in dem Glassubstrat (2) inhomogen mit unterschiedlichen Ätzraten. Hierdurch wird die Möglichkeit geschaffen, die aufgrund der Ätzbehandlung entstehende Durchbrechung (1) in dem transparenten oder transmissiven Material gezielt und selektiv durch unterschiedliche Charakteristika der Modifikationen zu formen und beispielsweise den Kegelwinkel (α, β) der Durchbrechung (1) zu variieren.