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1. (WO2018162231) SPIEGEL MIT EINER PIEZOELEKTRISCH AKTIVEN SCHICHT

Pub. No.:    WO/2018/162231    International Application No.:    PCT/EP2018/054209
Publication Date: Fri Sep 14 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 22 00:59:59 CET 2018
IPC: G02B 5/08
C23C 14/34
G02B 26/08
G02B 26/06
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: LOERCHER, Roland
ZACZEK, Christoph
HILD, Kerstin
LIPPERT, Joahnnes
KWAN, Yim-Bun-Patrick
GRUNER, Toralf
HUBER, Peter
Title: SPIEGEL MIT EINER PIEZOELEKTRISCH AKTIVEN SCHICHT
Abstract:
Die Erfindung betrifft einen Spiegel (10) mit einer optisch aktiven Fläche (12) zur Reflektion elektromagnetischer Strahlung und mit mindestens einer piezoelektrisch aktiven Schicht (13) zur Deformation der optisch aktiven Fläche (12), wobei die piezoelektrisch aktive Schicht (13) zwischen der optisch aktiven Fläche (12) und einem Substrat (14) angeordnet ist. Erfindungsgemäß handelt es sich bei der piezoelektrisch aktiven Schicht (13) um eine Gasfluss-Sputterschicht. Mit Hilfe dieses Verfahrens lassen sich mechanisch stabile Piezoschichten mit Schichtdicken zwischen einigen µm und Hunderten von µm erzeugen, die für eine Verwendung des Spiegels (10) im DUV/VUV-Wellenlängenbereich notwendig sind. Vorteilhafterweise weist der Spiegel (10) eine Parzellierung der piezoelektrisch aktiven Schicht (13) in eine Vielzahl von piezoelektrischen Elementen (30) auf.