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1. (WO2018159056) ELECTRON SOURCE AND ELECTRON BEAM DEVICE USING SAME
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Veröff.-Nr.: WO/2018/159056 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2017/044177
Veröffentlichungsdatum: 07.09.2018 Internationales Anmeldedatum: 08.12.2017
IPC:
H01J 1/15 (2006.01) ,H01J 1/16 (2006.01) ,H01J 9/04 (2006.01) ,H01J 37/06 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
1
Einzelheiten von Elektroden, magnetischen Steuerungen, Abschirmungen oder von deren Befestigung oder Abstandshalterung, die zwei oder mehr Grundtypen von Entladungsröhren oder -lampen gemeinsam sind
02
Hauptelektroden
13
Feste Glühkathoden
15
Kathoden, die direkt durch elektrischen Strom geheizt werden
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
1
Einzelheiten von Elektroden, magnetischen Steuerungen, Abschirmungen oder von deren Befestigung oder Abstandshalterung, die zwei oder mehr Grundtypen von Entladungsröhren oder -lampen gemeinsam sind
02
Hauptelektroden
13
Feste Glühkathoden
15
Kathoden, die direkt durch elektrischen Strom geheizt werden
16
gekennzeichnet durch die Gestalt
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
9
Geräte oder Verfahren, die in besonderer Weise für die Herstellung von elektrischen Entladungsröhren, Entladungslampen oder deren Teilen ausgebildet sind; Stoffliche Rückgewinnung von Materialien aus Entladungsröhren oder -lampen
02
Herstellung von Elektroden oder Elektrodensystemen
04
von Glühkathoden
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37
Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
02
Einzelheiten
04
Anordnungen der Elektroden und zugeordneten Teile zum Erzeugen oder Steuern der Entladung, z.B. elektronenoptische oder ionenoptische Anordnung
06
Elektronenquellen; Elektronenstrahlerzeuger
Anmelder:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Erfinder:
楠 敏明 KUSUNOKI Toshiaki; JP
糟谷 圭吾 KASUYA Keigo; JP
大嶋 卓 OHSHIMA Takashi; JP
橋詰 富博 HASHIZUME Tomihiro; JP
荒井 紀明 ARAI Noriaki; JP
小瀬 洋一 OSE Yoichi; JP
Vertreter:
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
Prioritätsdaten:
2017-03588228.02.2017JP
Titel (EN) ELECTRON SOURCE AND ELECTRON BEAM DEVICE USING SAME
(FR) SOURCE D’ÉLECTRONS ET DISPOSITIF À FAISCEAU D’ÉLECTRONS UTILISANT CELLE-CI
(JA) 電子源およびそれを用いた電子線装置
Zusammenfassung:
(EN) Provided are an electron source usable stably over a long period of time even if a hexaboride compound is used, and an electron beam device using this electron source. The electron source comprises: a metallic filament (103); a metal tube (112) fixed onto the filament (103) and having a plurality of recessed portions (117) disposed in at least two axial directions in the outer periphery thereof so as to surround a central axis; and a columnar hexaboride compound tip (104) wherefrom electrons are released, disposed so as to protrude from the interior of the metal tube (112) to the side facing away from the filament (103), and in contact with the respective bottom portions of the plurality of recessed portions (117) from the metal tube (112).
(FR) L'invention concerne une source d'électrons pouvant être utilisée de manière stable sur une longue période de temps même si un composé d'hexaborure est utilisé, et un dispositif à faisceau d'électrons utilisant cette source d'électrons. La source d'électrons comprend : un filament métallique (103); un tube métallique (112) fixé sur le filament (103) et ayant une pluralité de parties évidées (117) disposées dans au moins deux directions axiales dans sa périphérie externe de manière à entourer un axe central; et une pointe de composé d'hexaborure en colonne (104) d'où des électrons sont libérés, disposée de manière à faire saillie à partir de l'intérieur du tube métallique (112) vers le côté opposé au filament (103), et en contact avec les parties inférieures respectives de la pluralité de parties évidées (117) à partir du tube métallique (112).
(JA) 六ホウ化物を用いた場合であっても、長時間安定に使用できる電子源およびそれを用いた電子線装置を提供する。金属製のフィラメント(103)と、フィラメント(103)に固定され、外周において中心軸を囲むように少なくとも2軸方向に配置された複数の凹部(117)を有する金属管(112)と、電子を放出し、金属管(112)の内部からフィラメント(103)の反対側に突き出て配置され、金属管(112)の複数の凹部(117)のそれぞれの底部と接触している柱状の六ホウ化物のチップ(104)と、を備えた電子源とする。
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)