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1. (WO2018158394) VORRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN EINES MIT UV-STRAHLUNG BEAUFSCHLAGTEN FLÜSSIGEN MEDIUMS AUF EIN SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/158394    International Application No.:    PCT/EP2018/055103
Publication Date: Sat Sep 08 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018
IPC: B08B 3/10
B08B 7/00
G03F 1/82
H01L 21/67
Applicants: SÜSS MICROTEC PHOTOMASK EQUIPMENT GMBH & CO. KG
Inventors: DRESS, Peter
DIETZE, Uwe
GRABITZ, Peter
Title: VORRICHTUNG ZUM AUFBRINGEN EINES MIT UV-STRAHLUNG BEAUFSCHLAGTEN FLÜSSIGEN MEDIUMS AUF EIN SUBSTRAT
Abstract:
Es ist eine Vorrichtung (1) zum Aufbringen eines mit UV-Strahlung beaufschlagten flüssigen Mediums auf ein Substrat (2) offenbart. Die Vorrichtung (1) weist folgendes auf: ein Gehäuse (114, 14), mit einer langgestreckten Kammer (122, 22), wenigstens einer Einlassöffnung, die sich zur Kammer (122, 22) hin öffnet und einer der wenigstens einen Einlassöffnung gegenüberliegenden, schlitzförmigen Auslassöffnung (21), die sich über die Länge der Kammer (122, 22) erstreckt, ein sich in Längsrichtung durch die Kammer (122, 22) erstreckendes Rohrelement (180, 30), das wenigstens teilweise für UV-Strahlung transparent ist, wobei das Rohrelement (180, 30) derart in der Kammer (122, 22) angeordnet ist, dass zwischen dem Rohrelement (180, 30) und der Wand der Kammer (122, 22) ein Strömungsraum (184) gebildet wird, der bezüglich einer Längsmittelebene der Kammer (122, 22), die die Auslassöffnung (21) mittig schneidet, symmetrisch ist, und dass sich das Rohrelement (180, 30) in die schlitzförmige Auslassöffnung (21) im Gehäuse (114, 14) erstreckt und dabei zwei in Längsrichtung erstreckende Austrittsschlitze (186, 37) zwischen Rohrelement (180, 30) und Gehäuse (114, 14) bildet, und wenigstens eine UV-Strahlungsquelle im Rohrelement (180, 30), die angeordnet ist, um UV-Strahlung in Richtung des Strömungsraumes und durch die Auslassöffnung (21) aus dem Gehäuse (114, 14) heraus zu emittieren, um Radikale in der Flüssigkeit zu erzeugen und auf die Oberfläche des Substrat (2) zu bringen. Die Vorrichtung (1) istgekennzeichnetdurch Mittel zum Einstellen der durch die Auslassöffnung (21) durch das Rohrelement (180, 30) austretenden Strahlung derart, dass die Strahlungsintensität zur Längsmittelebenen der Kammer (122, 22) hin zunimmt.