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1. (WO2018157274) MANUFACTURING METHOD FOR DIAMOND-LIKE CARBON VIBRATING DIAPHRAGM AND LOUDSPEAKER
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Veröff.-Nr.: WO/2018/157274 Internationale Anmeldenummer PCT/CN2017/075106
Veröffentlichungsdatum: 07.09.2018 Internationales Anmeldedatum: 28.02.2017
IPC:
H04R 9/06 (2006.01) ,C23C 16/26 (2006.01)
H Elektrotechnik
04
Elektrische Nachrichtentechnik
R
Lautsprecher, Mikrofone, Schallplatten-Tonabnehmer oder ähnliche akustische, elektromechanische Wandler; Hörhilfen für Schwerhörige; Großlautsprecheranlagen
9
Wandler mit beweglicher Spule, beweglichem Streifen oder beweglichem Draht
06
Lautsprecher
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
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Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase [chemical vapour deposition = CVD]
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gekennzeichnet durch das Abscheiden anderer anorganischer Stoffe als metallischer Stoffe
26
Alleiniges Abscheiden von Kohlenstoff
Anmelder:
万魔声学科技有限公司 1MORE INC. [CN/CN]; 中国广东省深圳市 南山区学苑大道田寮大厦(新材料产业园)东座14楼 F14 East Block Tianliao Building (New Materials Industrial Park), Xueyuan Road, Nanshan District Shenzhen, Guangdong 518055, CN
Erfinder:
邱士嘉 CHIU, Shihchia; CN
杨磊 YANG, Lei; CN
Vertreter:
广州华进联合专利商标代理有限公司 ADVANCE CHINA IP LAW OFFICE; 中国广东省广州市天河区珠江东路6号4501房 (部位:自编01-03和08-12单元)(仅限办公用途) Room 4501, No. 6 Zhujiang East Road, Tianhe District, Guangzhou Guangdong 510623, CN
Prioritätsdaten:
Titel (EN) MANUFACTURING METHOD FOR DIAMOND-LIKE CARBON VIBRATING DIAPHRAGM AND LOUDSPEAKER
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE MEMBRANE VIBRANTE EN CARBONE DE TYPE DIAMANT ET HAUT-PARLEUR
(ZH) 一种类钻碳振动膜的制作方法及一种扬声器
Zusammenfassung:
(EN) The present invention relates to a manufacturing method for a diamond-like carbon diaphragm, comprising the steps of: placing a base material in the air, the base material being a high polymer material; a step of depositing a composite diamond-like carbon diaphragm comprises: at a temperature condition of less than 90°C, importing a carbon-containing gas from one end of an atmospheric pressure plasma chemical vapor deposition device, and providing a voltage of more than 5 kV and less than 10 kV to ionize the carbon-containing gas; importing a main gas from the other end of the atmospheric pressure plasma chemical vapor deposition device; bringing the ionized carbon-containing gas out of the atmospheric pressure plasma chemical vapor deposition device by the main gas and depositing the same on the surface of the base material to form a composite diamond-like carbon diaphragm; a step of forming a diamond-like carbon vibrating diaphragm comprises: cutting from the composite diamond-like carbon diaphragm a diamond-like carbon vibrating diaphragm having the required diameter, forming a diamond-like carbon vibrating diaphragm having the required shape by means of a compressing process; or compressing the composite diamond-like carbon diaphragm by means of the compressing process to form a diamond-like carbon vibrating diaphragm having the required shape and diameter, and cutting the diamond-like carbon vibrating diaphragm. Compared with conventional manufacturing methods assisted by plasma enhanced chemical vapor deposition and physical vapor deposition, the manufacturing method for a diamond-like carbon vibrating diaphragm according to the present invention may deposit the diamond-like carbon vibrating diaphragm in environments of high atmospheric pressure and low temperature without needing to configure a vacuum cavity and a vacuum device, thereby simplifying the manufacturing processes. Moreover, in a low temperature environment, a diaphragm break caused by high temperature or the diaphragm wrinkling due to thermal deformation may be avoided, and the formed diamond-like carbon vibrating diaphragm is more flat.
(FR) La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une membrane en carbone de type diamant, comprenant les étapes suivantes : placement d'un matériau de base dans l'air, le matériau de base étant un matériau de haut polymère ; étape de dépôt d'une membrane en carbone composite de type diamant consistant : à une condition de température inférieure à 90 °C, à importer un gaz contenant du carbone à partir d'une extrémité d'un dispositif de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à pression atmosphérique, et à fournir une tension supérieure à 5 kV et inférieure à 10 kV afin d'ioniser le gaz contenant du carbone ; à importer un gaz principal à partir de l'autre extrémité du dispositif de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à pression atmosphérique ; à amener le gaz contenant du carbone ionisé hors du dispositif de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma à pression atmosphérique par le gaz principal et à le déposer sur la surface du matériau de base afin de former une membrane en carbone composite de type diamant ; étape de formation d'une membrane vibrante en carbone de type diamant consistant : à découper à partir de la membrane en carbone composite de type diamant une membrane vibrante en carbone de type diamant ayant le diamètre requis, à former une membrane vibrante en carbone de type diamant ayant la forme requise au moyen d'un processus de compression ; ou à comprimer la membrane en carbone composite de type diamant au moyen du processus de compression afin de former une membrane vibrante en carbone de type diamant ayant la forme et le diamètre requis, et à découper la membrane vibrante en carbone de type diamant. Par comparaison avec des procédés de fabrication classiques assistés par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma et dépôt physique en phase vapeur, le procédé de fabrication d'une membrane vibrante en carbone de type diamant selon la présente invention peut déposer la membrane vibrante en carbone de type diamant dans des environnements de pression atmosphérique élevée et de basse température sans avoir besoin de configurer une cavité sous vide et un dispositif à vide, ce qui simplifie les processus de fabrication. De plus, dans un environnement à basse température, une rupture de membrane provoquée par une température élevée ou le plissement de membrane dû à une déformation thermique peuvent être évités, et la membrane vibrante en carbone de type diamant formée est plus plate.
(ZH) 本发明涉及一种类钻碳膜的制作方法,包括步骤:将一基材放置于空气中,所述基材为高分子材料;类钻碳复合膜沉积的步骤包括:在低于 90℃的温度条件下,从大气压电浆化学气相沉积装置的一端通入含碳气体,并提供10千伏以下且5千伏以上的电压解离所述含碳气体,从所述大气压电浆化学气相沉积装置的另一端通入主气体,解离后的所述含碳气体被所述主气体带出所述大气压电浆化学气相沉积装置并沉积在所述基材的表面形成类钻碳复合膜;类钻碳振动膜成型的步骤包括:从所述类钻碳复合膜中裁切所需直径的类钻碳振动膜,并通过压制工艺形成所需形状的类钻碳振动膜;或通过压制工艺在类钻碳复合膜上压制形成所需形状和直径的类钻碳振动膜,并裁切所述类钻碳振动膜。本发明的类钻碳振动膜的制作方法,相比于传统的电浆辅助化学气相沉积和物理气相沉积的制作方法,只需在大气压环境、低温环境下就可实现类钻碳膜的沉积,无需设置真空腔体和真空装置,简化了制程。并且在低温环境下,能够避免高温导致的穿膜或热变形引起的膜皱掉,形成的类钻碳振动膜更为平坦。
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Chinesisch (ZH)
Anmeldesprache: Chinesisch (ZH)