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1. (WO2018153750) BELICHTUNGSANLAGE

Pub. No.:    WO/2018/153750    International Application No.:    PCT/EP2018/053678
Publication Date: Fri Aug 31 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 15 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 7/20
G02B 26/12
Applicants: MANZ AG
Inventors: CONTAG, Karsten
WAHL, Thomas
Title: BELICHTUNGSANLAGE
Abstract:
Um eine Belichtungsanlage zum Erzeugen belichteter Strukturen in mindestens einer auf einem Objekt angeordneten fotosensitiven Schicht, umfassend einen das Objekt aufnehmenden Objektträger und eine Belichtungseinrichtung, wobei der Objektträger und die Belichtungseinrichtung in einer Vorschubrichtung relativ zueinander bewegbar sind und wobei mit der Belichtungseinrichtung Belichtungsflecken positionsgesteuert auf der mindestens einen fotosensitiven Schicht zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass die mindestens eine Belichtungseinheit mindestens zwei Belichtungsstrahlensätze mit Belichtungsstrahlen erzeugt, dass die Belichtungsstrahlen eines Belichtungsstrahlensatzes sich von den Belichtungsstrahlen eines weiteren Belichtungsstrahlensatzes sich hinsichtlich ihrer Wellenlänge unterscheiden, dass die Belichtungsstrahlen des einen Belichtungsstrahlensatzes relativ zu den Belichtungsstrahlen des weiteren Belichtungsstrahlensatzes räumlich versetzt verlaufen, und dass die Belichtungsstrahlen jedes Belichtungsstrahlensatzes so relativ zueinander geführt sind, dass bei jedem der Belichtungsstrahlensätze der Belichtungsfleck der letzten Belichtungsfleckposition der einen Ablenkungsstrecke und der Belichtungsfleck der ersten Belichtungsfleckposition der nächstfolgenden Ablenkungsstrecke derart bezüglich einer parallel zur Vorschubrichtung verlaufenden Referenzgeraden angeordnet sind, dass die Referenzgerade die in diesen Belichtungsfleckpositionen erzeugten Belichtungsflecken schneidet.