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1. (WO2018153729) KATADIOPTRISCHES OBJEKTIV UND OPTISCHES SYSTEM MIT EINEM SOLCHEN OBJEKTIV
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Veröff.-Nr.: WO/2018/153729 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/053552
Veröffentlichungsdatum: 30.08.2018 Internationales Anmeldedatum: 13.02.2018
IPC:
G02B 17/08 (2006.01) ,G02B 5/08 (2006.01) ,G02B 27/00 (2006.01)
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
17
Systeme mit reflektierenden Flächen, mit oder ohne brechende Elemente
08
Spiegel-Linsen-Systeme
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
5
Optische Elemente außer Linsen
08
Spiegel
G Physik
02
Optik
B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
27
Andere optische Systeme; andere optische Geräte
Anmelder:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
FORCHT, Konstantin; DE
DOERING, Dirk; DE
Vertreter:
WITTE, WELLER & PARTNERPATENTANWÄLTE MBB / ZUSAMMENSCHLUSS EPA NR. 314; Postfach 10 54 62 70047 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 202 802.521.02.2017DE
Titel (EN) CATADIOPTRIC LENS AND OPTICAL SYSTEM COMPRISING SUCH A LENS
(FR) OBJECTIF CATADIOPTRIQUE ET SYSTÈME OPTIQUE MUNI DE CE TYPE D'OBJECTIF
(DE) KATADIOPTRISCHES OBJEKTIV UND OPTISCHES SYSTEM MIT EINEM SOLCHEN OBJEKTIV
Zusammenfassung:
(EN) Catadioptric lens (10, 10'), comprising at least two optical elements (M1, M2; M1', M2') arranged along an optical axis (12), wherein both optical elements (M1, M2; M1', M2') are configured as a mirror having a substrate (19, 21; 49, 53) and a highly reflective coating (19s, 21s; 49s, 53s) applied to an interface of the substrate (19, 21; 49, 53), wherein the highly reflective coating (19s, 21s; 49s, 53s) extends from the interface of the substrate (19, 21; 49, 53) along a surface normal, wherein at least one of the highly reflective coatings (19s, 21s; 49s, 53s) has one or a plurality of layers, wherein the optical total layer thickness of the one layer or the plurality of layers increases radially from the inner area outward.
(FR) La présente invention concerne un objectif catadioptrique (10, 10'), ayant au moins deux éléments optiques (M1, M2 ; M1', M2') agencés le long d'un axe optique (12), les deux éléments optiques (M1, M2 ; M1', M2') étant conçus comme un miroir qui présente un substrat (19, 21 ; 49, 53) et un revêtement (19s, 21s ; 49s, 53s) hautement réfléchissant déposé sur une interface du substrat (19, 21 ; 49, 53), ledit revêtement (19s, 21s ; 49s, 53s) hautement réfléchissant s'étendant depuis l'interface du substrat (19, 21 ; 49, 53) le long d'une perpendiculaire, au moins l'un des revêtements (19s, 21s ; 49s, 53s) hautement réfléchissants présentant une ou plusieurs couches, l'épaisseur totale optique de la couche ou de plusieurs couches augmentant radialement de l'intérieur vers l'extérieur.
(DE) Katadioptrisches Objektiv (10, 10'), mit zumindest zwei optischen Elementen (M1, M2; M1', M2'), die entlang einer optischen Achse (12) angeordnet sind, wobei beide optische Elemente (M1, M2; M1', M2') als Spiegel ausgebildet sind, der ein Substrat (19, 21; 49, 3) und eine auf eine Grenzfläche des Substrats (19, 21; 49, 53) aufgebrachte hochreflektierende Beschichtung (19s, 21s; 49s, 53s) aufweist, wobei sich die hochreflektierende Beschichtung (19s, 21s; 49s, 53s) von der Grenzfläche des Substrats (19, 21; 49, 53) aus entlang einer Flächennormalen erstreckt, wobei zumindest eine der hochreflektierende Beschichtungen (19s, 21s; 49s, 53s) eine oder mehrere Lagen aufweist, wobei die optische Gesamtschichtdicke der einen Lage oder mehreren Lagen radial von innen nach außen zunimmt.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)