Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen

1. (WO2018149894) LICHTBOGENKATHODENVERDAMPFUNG MIT VORBESTIMMTEM KATHODENMATERIALABTRAG

Pub. No.:    WO/2018/149894    International Application No.:    PCT/EP2018/053724
Publication Date: Fri Aug 24 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Feb 15 00:59:59 CET 2018
IPC: H01J 37/32
C23C 14/32
H01J 37/34
Applicants: OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFÄFFIKON
Inventors: VETTER, Joerg
WILLACH, Markus
Title: LICHTBOGENKATHODENVERDAMPFUNG MIT VORBESTIMMTEM KATHODENMATERIALABTRAG
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Verdampfung einer Kathode mittels kathodischer Lichtbogenverdampfung, bei dem der Brennfleck des Lichtbogens zu einer vorbestimmten Laufbahn auf der Kathodenoberfläche mittels zeitlich und örtlich steuerbarer Magnetfelder gezwungen wird, wobei ein vorbestimmter Materialabtrag der Kathodenoberfläche produziert wird. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur Durchführung des erfinderischen Verfahrens.