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1. (WO2018147122) COATING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING COATED ARTICLE
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Veröff.-Nr.: WO/2018/147122 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2018/002837
Veröffentlichungsdatum: 16.08.2018 Internationales Anmeldedatum: 30.01.2018
IPC:
C23C 14/54 (2006.01) ,C23C 14/06 (2006.01) ,C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/34 (2006.01) ,C23C 14/50 (2006.01) ,F16J 9/26 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
54
Steuern oder Regeln des Beschichtungsvorganges
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
06
gekennzeichnet durch das Beschichtungsmaterial
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
24
Vakuumbedampfen
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
34
durch Aufstäuben
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14
Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
50
Substrathalter
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16
Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
J
Kolben; Zylinder; Druckbehälter allgemein; Abdichtungen, Dichtungen
9
Kolbenringe, dazugehörige Sitzflächen; Ringabdichtungen ähnlicher Bauart allgemein
26
gekennzeichnet durch die Verwendung besonderer Werkstoffe
Anmelder:
株式会社神戸製鋼所 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区脇浜海岸通二丁目2番4号 2-4, Wakinohama-Kaigandori 2-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6518585, JP
Erfinder:
藤井 博文 FUJII, Hirofumi; --
Vertreter:
小谷 悦司 KOTANI, Etsuji; JP
小谷 昌崇 KOTANI, Masataka; JP
村松 敏郎 MURAMATSU, Toshiro; JP
Prioritätsdaten:
2017-02196809.02.2017JP
Titel (EN) COATING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING COATED ARTICLE
(FR) DISPOSITIF DE REVÊTEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ARTICLE REVÊTU
(JA) 成膜装置および成膜物の製造方法
Zusammenfassung:
(EN) Provided is a coating device that can control film thickness distribution in the circumferential direction of a workpiece. The coating device is provided with: a workpiece rotating device (5) for rotating and revolving a plurality of workpieces (100) held thereby; targets (3) having ejection surfaces (3a) from which particles serving as material for coating the outer peripheral surfaces of the workpieces (100) are ejected; power supplies (4) for imparting to the targets (3) an arc current by which the particles are ejected from the targets (3); and a control unit (23) for controlling each power supply (4) such that the output for the arc current is higher than a reference output in a specific period which is at least part of a period wherein a specific part (102) of a rotating workpiece (100) is oriented to an ejection surface (3a).
(FR) La présente invention concerne un dispositif de revêtement qui peut contrôler la distribution d'épaisseur de pellicule dans la direction circonférentielle d'une pièce à travailler. Le dispositif de revêtement comprend : un dispositif de rotation de pièce à travailler (5) pour faire tourner autour d’un axe et sur elles-mêmes une pluralité de pièces à travailler (100) maintenues par celui-ci ; des cibles (3) ayant des surfaces d'éjection (3a) à partir desquelles des particules servant de matériau pour revêtir les surfaces périphériques externes des pièces à travailler (100) sont éjectées ; des alimentations électriques (4) pour communiquer aux cibles (3) un courant d'arc par lequel les particules sont éjectées des cibles (3) ; et une unité de commande (23) pour commander chaque alimentation électrique (4) de sorte que la sortie du courant d'arc soit supérieure à une sortie de référence dans une période spécifique qui est au moins une partie d'une période dans laquelle une partie spécifique (102) d'une pièce à travailler rotative (100) est orientée vers une surface d'éjection (3a).
(JA) ワークの周方向の膜厚分布を制御することが可能な成膜装置が提供される。成膜装置は、複数のワーク(100)を保持して自公転させるワーク回転装置(5)と、ワーク(100)の外周面を成膜するための材料となる粒子が飛び出す出射面(3a)を有するターゲット(3)と、ターゲット(3)から粒子が飛び出すためのアーク電流をターゲット(3)に与える電源(4)と、自転するワーク(100)の特定部分(102)が出射面(3a)を向く期間の少なくとも一部である特定期間においてアーク電流を基準出力よりも高い出力にするように電源(4)を制御する制御部(23)と、を備える。
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)