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1. (WO2018146817) VACUUM DEVICE
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Veröff.-Nr.: WO/2018/146817 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2017/005172
Veröffentlichungsdatum: 16.08.2018 Internationales Anmeldedatum: 13.02.2017
IPC:
C23C 16/505 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
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Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
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Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase [chemical vapour deposition = CVD]
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gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
50
unter Anwendung elektrischer Entladungen
505
unter Anwendung von Hochfrequenzentladungen
Anmelder:
堺ディスプレイプロダクト株式会社 SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai-shi, Osaka 5908522, JP
Erfinder:
庄司 敦史 SHOJI, Atsushi; JP
Vertreter:
鮫島 睦 SAMEJIMA, Mutsumi; JP
前堀 義之 MAEHORI, Yoshiyuki; JP
山崎 敏行 YAMASAKI, Toshiyuki; JP
Prioritätsdaten:
Titel (EN) VACUUM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À VIDE
(JA) 真空装置
Zusammenfassung:
(EN) In the present invention, a chamber body has an opening (11a). A lid body opens and closes the opening (11a). An annular groove 14, in which a seal member (13) is disposed, is provided in one of a lid-body-side end face of the opening (11a) and a chamber-body-side end face of the lid body. A wall surface (14a) on the inner side in the radial direction of the annular groove (14) is formed such that a cross-section thereof has an elliptic arc shape, a circular arc shape, or a linear shape inclined with respect to a bottom surface of the annular groove (14), and is in contact with the seal member (13). A wall surface (14b) on the outer side in the radial direction of the annular groove (14) is formed so as to have a gap between the seal member (13) and an end section located on the other side of the lid-body-side end face of the opening (11a) and the chamber-body-side end face of the lid body, and is not in contact with the seal member (13).
(FR) Dans la présente invention, un corps de chambre comporte une ouverture (11a). Un corps de couvercle ouvre et ferme l'ouverture (11a). Une rainure annulaire (14), dans laquelle est disposé un élément d'étanchéité (13), est disposée une face d'extrémité côté corps de couvercle de l'ouverture (11a) ou une face d'extrémité côté corps de chambre du corps de couvercle. Une surface de paroi (14a) sur le côté interne dans la direction radiale de la rainure annulaire (14) est formée de telle sorte qu'une section transversale de cette dernière présente une forme d'arc elliptique, une forme d'arc circulaire, ou une forme linéaire inclinée par rapport à une surface inférieure de la rainure annulaire (14), et elle est en contact avec l'élément d'étanchéité (13). Une surface de paroi (14b) sur le côté externe dans la direction radiale de la rainure annulaire (14) est formée de manière à comporter un espace entre l'élément d'étanchéité (13) et une partie d'extrémité située sur l'autre côté de la face d'extrémité côté corps de couvercle de l'ouverture (11a) et la face d'extrémité côté corps de chambre du corps de couvercle, et elle n'est pas en contact avec l'élément d'étanchéité (13).
(JA) チャンバ本体は開口部(11a)を有する。蓋体は開口部(11a)を開閉する。開口部(11a)の蓋体側の端面と蓋体のチャンバ本体側の端面との内の一方には、シール部材(13)が配置される環状溝14が設けられている。環状溝(14)の径方向内側の壁面(14a)は、断面が、楕円弧形状、円弧形状、または、環状溝(14)の底面に対して傾斜する直線形状になるように形成されて、シール部材(13)に接触する。環状溝(14)の径方向外側の壁面(14b)は、開口部(11a)の蓋体側の端面と蓋体のチャンバ本体側の端面との内の他方側に位置する端部が、シール部材(13)との間に隙間を有するように形成されて、シール部材(13)に接触しない。
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)