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1. (WO2018145972) BEARBEITUNGSANLAGE
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Veröff.-Nr.: WO/2018/145972 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/052407
Veröffentlichungsdatum: 16.08.2018 Internationales Anmeldedatum: 31.01.2018
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 9/00 (2006.01)
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
9
Registergerechtes oder sonstiges Positionieren von Kopiervorlagen, Masken, Rastern, fotografischen Folien oder strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. selbsttätig
Anmelder:
MANZ AG [DE/DE]; Steigäckerstrasse 5 72768 Reutlingen, DE
Erfinder:
CONTAG, Karsten; DE
Vertreter:
HOEGER, STELLRECHT & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Uhlandstrasse 14 c 70182 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 102 320.807.02.2017DE
Titel (EN) PROCESSING SYSTEM
(FR) INSTALLATION D'USINAGE
(DE) BEARBEITUNGSANLAGE
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a processing system, in particular an optical processing system, for a substrate body, comprising an exposure system having an exposure unit or a plurality of exposure units, a calibration system having at least one calibration camera for adjustment of the exposure system, a substrate carrier unit having a retaining device for the substrate body and a registration system having a registration camera or a plurality of registration cameras, wherein a position and/or alignment of the substrate body retained by the retaining device can be captured in at least one registration position of the substrate carrier unit by the one or by at least one registration camera, wherein the exposure system and the registration system can be easily coordinated with each other and the calibration system has a reference marking or a plurality of reference markings, each of which are arranged at a defined position relative to the at least one calibration camera, and the one or at least one reference marking can be captured by the one or at least one registration camera.
(FR) La présente invention concerne une installation d'usinage, en particulier une installation d'usinage optique pour un corps de substrat, comprenant : un système d'exposition à la lumière, doté d'une unité d'exposition à la lumière ou d'une pluralité d'unités d'exposition à la lumière ; un système d'étalonnage, doté d'au moins une caméra d'étalonnage destinée au réglage du système d'exposition à la lumière ; une unité de support de substrat, dotée d'un dispositif de maintien pour le corps de substrat ; et un système d'enregistrement, doté d'une caméra d'enregistrement ou d'une pluralité de caméras d'enregistrement, une position et/ou une orientation du corps de substrat maintenu par le dispositif de maintien, dans au moins une position d'enregistrement de l'unité de support de substrat, étant détectable par l'une ou au moins une caméra d'enregistrement. L'invention vise à ce que le système d'exposition à la lumière et le système d'enregistrement sont réglables l'un par rapport à l'autre d'une manière simple. Selon l'invention, le système d'étalonnage comporte un marquage de référence ou une pluralité de marquages de référence, lesquels sont respectivement disposés dans une position relative définie par rapport à l'au moins une caméra d'étalonnage et l'un ou au moins un marquage de référence de l'une ou d'au moins une caméra d'enregistrement est détectable.
(DE) Um eine Bearbeitungsanlage, insbesondere eine optische Bearbeitungsanlage, für einen Substratkörper, umfassend ein Belichtungssystem mit einer Belichtungseinheit oder mehreren Belichtungseinheiten, ein Kalibiersystem mit mindestens einer Kalibrierkamerazur Justierung des Belichtungssystems, eine Substratträgereinheit mit einer Haltevorrichtung für den Substratkörper und ein Registriersystem mit einer Registrierkamera oder mehreren Registrier- kameras, wobei eine Lage und/oder Ausrichtung des von der Haltevorrichtung gehaltenen Substratkörpers in zumindest einer Registrierposition der Substratträgereinheit von der einen oder von zumindest einer Registrierkamera erfassbar ist, so auszubilden, dass das Belichtungssystem und das Registriersystem in einfacher Weise aufeinander abstimmbar sind, wird vorgeschlagen, dass das Kalibriersystem eine Referenzmarkierung oder mehrere Referenzmarkierungen aufweist, welche jeweils in einer definierten Relativposition zu der mindestens einen Kalibrierkamera angeordnet sind,und dass die eine oder mindestens eine Referenzmarkierung von der einen oder mindestens einer Registrierkamera erfassbar ist.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)