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1. (WO2018141917) VERFAHREN ZUM DIMENSIONELLEN RÖNTGENOGRAPHISCHEN MESSEN, INSBESONDERE MITTELS COMPUTERTOMOGRAPHIE, UND RÖNTGEN-COMPUTERTOMOGRAPH
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Veröff.-Nr.: WO/2018/141917 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2018/052686
Veröffentlichungsdatum: 09.08.2018 Internationales Anmeldedatum: 02.02.2018
IPC:
G06T 5/00 (2006.01) ,G06T 11/00 (2006.01)
G Physik
06
Datenverarbeitung; Rechnen; Zählen
T
Bilddatenverarbeitung oder Bilddatenerzeugung allgemein
5
Verbesserung oder Wiederherstellung des Bildes, z.B. zur Erzeugung eines ebenfalls bitweise organisierten ähnlichen Bildes
G Physik
06
Datenverarbeitung; Rechnen; Zählen
T
Bilddatenverarbeitung oder Bilddatenerzeugung allgemein
11
Erzeugung von 2D [zweidimensionalen] Bildern
Anmelder:
BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND, vertreten durch das BUNDESMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT UND ENERGIE, dieses vertreten durch den PRÄSIDENTEN DER PHYSIKALISCH-TECHNISCHEN BUNDESANSTALT [DE/DE]; Bundesallee 100 38116 Braunschweig, DE
Erfinder:
ILLEMANN, Jens; DE
BARTSCHER, Markus; DE
Vertreter:
GRAMM, LINS & PARTNER PATENT- UND RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Theodor-Heuss-Straße 1 38122 Braunschweig, DE
Prioritätsdaten:
10 2017 102 254.606.02.2017DE
Titel (EN) METHOD FOR DIMENSIONAL X-RAY MEASUREMENT, IN PARTICULAR BY COMPUTED TOMOGRAPHY, AND X-RAY COMPUTED TOMOGRAPHY SCANNER
(FR) PROCÉDÉ DE MESURE DIMENSIONNELLE PAR RAYONS X, EN PARTICULIER PAR TOMODENSITOMÉTRIE ET TOMODENSITOMÈTRE À RAYONS X
(DE) VERFAHREN ZUM DIMENSIONELLEN RÖNTGENOGRAPHISCHEN MESSEN, INSBESONDERE MITTELS COMPUTERTOMOGRAPHIE, UND RÖNTGEN-COMPUTERTOMOGRAPH
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a method for dimensional x-ray measurement, in particular by computed tomography, having the steps (a) irradiating a test object (26) with non-monochromatic x-ray radiation from a virtually punctiform x-ray source (12), (b) measuring the intensity (I) of the x-ray radiation (22) in the radiation path behind the test object (26) by means of a detector (14) which has a plurality of pixels (P) to obtain pixel-dependent intensity data (I(P)), and (c) calculating at least one dimension (H) of the test object (26) using the pixel-dependent intensity data (I(P)). According to the invention, the pixel-dependent intensity data (I(P)) are corrected by the influence of an effective penetration depth (τ) on the detector (14) and/or of a displacement of the effective source location (Q) on a target (20) of the x-ray source (12).
(FR) La présente invention concerne un procédé de mesure dimensionnelle par rayons X, en particulier par tomodensitométrie, comprenant les étapes consistant à : (a) irradier un objet d'essai (26) par des rayons X non-monochromatiques d'une source de rayons X (12) en forme de quasi-point ; (b) mesurer l'intensité (I) des rayons X (22) dans le trajet du rayonnement derrière l'objet d'essai (26) au moyen d'un détecteur (14), lequel comporte une pluralité de pixels (P), de telle sorte que les données d'intensité dépendant du pixel (l (P)) sont obtenus ; et (c) calculer au moins une dimension (H) de l'objet d'essai (26) à l'aide des données d'intensité dépendant du pixel (I(P)). Selon l'invention, les données d'intensité dépendant du pixel (l(p)) sont corrigées en fonction de l'influence d'une profondeur de pénétration (τ) effective sur le détecteur (14) et/ou d'un déplacement de l'emplacement de la source (Q) effectif par rapport à une cible (20) de la source de rayons X (12).
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum dimensioneilen röntgenographischen Messen, insbesondere mittels Computertomographie, mit den Schritten (a) Bestrahlen eines Prüflings (26) mit nicht-monochromatischer Röntgenstrahlung einer quasi-punktförmigen Röntgenquelle (12), (b) Messen von Intensität (I) der Röntgenstrahlung (22) im Strahlungspfad hinter dem Prüfling (26) mittels eines Detektors (14), der eine Vielzahl an Pixeln (P) aufweist, sodass pixelabhängige Intensitätsdaten (l(P)) erhalten werden, und (c) Berechnen zumindest einer Abmessung (H) des Prüflings (26) anhand der pixelabhängigen Intensitätsdaten (l(P)). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die pixelabhängigen Intensitätsdaten (l(P)) um den Einfluss einer effektiven Eindringtiefe (τ) auf dem Detektor (14) und/oder einer Verschiebung des effektiven Quellorts (Q) auf einem Target (20) der Röntgenquelle (12) korrigiert werden.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)