Einige Inhalte dieser Anwendung sind momentan nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (WO2018141382) ANLAGE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER ANLAGE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten    Einwendung einreichen

Veröff.-Nr.: WO/2018/141382 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2017/052173
Veröffentlichungsdatum: 09.08.2018 Internationales Anmeldedatum: 01.02.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
Anmelder:
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Erfinder:
HOLZ, Markus; DE
BIHR, Ulrich; DE
Vertreter:
CARL ZEISS SMT GMBH; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Prioritätsdaten:
Titel (EN) SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING A SYSTEM
(FR) INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UNE INSTALLATION
(DE) ANLAGE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER ANLAGE
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a system (100) which has a radiation source (106A) for generating radiation; a plurality of optical elements (110, 112, 114, 116, 118) for guiding the radiation in the system (100); a number N1 of assemblies (210 - 260), where N1 ≥ 1, wherein each of the N1 assemblies (210 - 260) comprises at least one actuator/sensor device (311 - 31N; 321 - 32N, 331 - 33N; 341 - 34N; 351 - 35N; 361 - 36N) which is paired with one of the optical elements (110, 112, 114, 116, 118); a plurality N2 of local actuation units (410, 420, 430, 440, 450, 460) for actuating the number N1 of assemblies (210 - 260), where N2 ≥ 2; and a number N3 of central actuation units (510, 520) for actuating the N2 local actuation units (410, 420, 430, 440, 450, 460), where N3 ≥ 1. Thus, hot spots are prevented and the heat distribution is harmonized and optimized. Furthermore, redundant actuation possibilities for the actuator/sensor devices are provided, said actuation possibilities increasing the availability of the system in the event of a malfunction.
(FR) L'invention concerne une installation (100), laquelle comporte une source de rayonnement (106A) pour la production d'un rayonnement, une pluralité de composants optiques (110, 112, 114, 116, 118) pour le guidage du rayonnement dans l'installation (100), un nombre (N1) d'agencements (210-260), avec N1 ≥ 1, chacun des N1 agencements (210-260) comprenant au moins un dispositif d'actionneurs/capteurs (311-31N; 321-32N, 331-33N; 341-34N; 351-35N; 361-36N), lequel est associé à un des composants optiques (110, 112, 114, 116, 118), une pluralité (N2) d'unités de commande locales (410, 420, 430, 440, 450, 460) destinées à commander le nombre (N1) d'agencements (210-260), avec N2 ≥ 2, et un nombre (N3) d'unités de commande centrales (510, 520) destinées à commander les N2 unités de commande locales (410, 420, 430, 440, 450, 460), avec N3 ≥ 1. Des points chauds sont ainsi évités, la répartition de chaleur est harmonisée et optimisée. Des possibilités redondantes de commande pour les dispositifs d'actionneurs/capteurs qui augmentent la disponibilité de l'installation en cas de panne sont également mises en œuvre.
(DE) Es wird eine Anlage (100) vorgeschlagen, welche eine Strahlungsquelle (106A) zur Erzeugung einer Strahlung, eine Mehrzahl von optischen Bauelementen (110, 112, 114, 116, 118) zur Führung der Strahlung in der Anlage (100), eine Anzahl N1 von Anordnungen (210 - 260), mit N1 ≥ 1, wobei jede der N1 Anordnungen (210 - 260) zumindest eine Aktor-/Sensor- Einrichtung (311 - 31N; 321 - 32N, 331 - 33N; 341 - 34N; 351 - 35N; 361 - 36N) umfasst, welche einem der optischen Bauelemente (110, 112, 114, 116, 118) zugeordnet ist, eine Mehrzahl N2 von lokalen Ansteuereinheiten (410, 420, 430, 440, 450, 460) zum Ansteuern der Anzahl N1 von Anordnungen (210 - 260), mit N2 ≥ 2, und eine Anzahl N3 von zentralen Ansteuereinheiten (510, 520) zum Ansteuern der N2 lokalen Ansteuereinheiten (410, 420, 430, 440, 450, 460), mit N3 ≥ 1, aufweist. Dadurch werden Wärmespots vermieden, die Wärmeverteilung wird harmonisiert und optimiert. Ferner werden redundante Ansteuermöglichkeiten für die Aktor-/Sensoreinrichtungen geschaffen, die im Fehlerfall die Verfügbarkeit der Anlage erhöhen.
front page image
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)