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1. (WO2018141339) VERFAHREN ZUM FESTLEGEN EINES BONDGUTS IN EINEM ARBEITSBEREICH EINES BONDERS

Pub. No.:    WO/2018/141339    International Application No.:    PCT/DE2018/100090
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Feb 06 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 23/544
H01L 23/00
Applicants: HESSE GMBH
Inventors: HESSE, Hans-Jürgen
BELTING, Gregor
RIESE, Markus
Title: VERFAHREN ZUM FESTLEGEN EINES BONDGUTS IN EINEM ARBEITSBEREICH EINES BONDERS
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Festlegen eines Bondguts (1) in einem Arbeitsbereich eines Bonders mittels einer Klemmeinrichtung (6) umfassend eine Initialisierungsroutine mit den folgenden Schritten: das Bondgut (1) und die Klemmeinrichtung (6) werden im Arbeitsbereich des Bonders platziert; zur Bestimmung der Lage des Bondguts (1) im Arbeitsraum wird mittels der Kamera eine charakteristische (Teil-) Kontur als Bondgut (1) und/oder eine an dem Bondgut (1) vorgesehene Bondgut-Positioniermarke (5) erfasst und als Bondgut-Referenzmarken gespeichert; anhand der Bondgut-Referenzmarken (5) wird die Position und/oder Orientierung des Bondguts (1) relativ zum Bonder bestimmt; Klemmfinger (9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20) der Klemmeinrichtung (6) werden so in eine Klemmposition verbracht und an den Klemmfingern (9, 10, 1 1, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20) der Klemmeinrichtung (6) vorgesehene Klemmflächen derart gegen das Bondgut (1) angelegt, dass in einem nachfolgenden Arbeitsschritt an vorbestimmten Anschlussflächen des Bondguts (1) ein Anschlusskontakt hergestellt werden kann, ohne dass das Bondgut (1) in unzulässiger Weise zu Schwingungen angeregt wird und/oder es beim Verfahren und/oder Positionieren eines Bondwerkzeugs des Bonders zu einer Kollision mit der Klemmeinrichtung (6) kommt; die zuvor eingestellte Klemmposition der Klemmfinger (9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20) wird mittels der Kamera erfasst und es wird die Klemmposition relativ zur Position und/oder Orientierung des Bondguts (1) als Klemmfinger-Sollposition berechnet und gespeichert; sowie eine Übernahmeroutine mit den folgenden Schritten: das Bondgut (1) und die Klemmeinrichtung (6) mit den Klemmfingern (9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20) werden im Arbeitsbereich des Bonders positioniert; eine aktuelle Position und Orientierung des Bondguts (1) und/oder der Klemmeinrichtung (6) werden mittels der Kamera erfasst; anhand der aktuellen Position und Orientierung des Bondguts (1) und der Klemmeinrichtung (6) und anhand der gespeicherten Klemmfinger-Sollposition wird eine initiale Fehlstellung der Klemmfinger (9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20) berechnet und angezeigt; iterativ werden die aktuelle Position und Orientierung der Klemmfinger (9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20) so lange korrigiert und neu erfasst und eine neue Fehlstellung der Klemmfinger (9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20) berechnet und angezeigt, bis die aktuelle Position und Orientierung der Klemmfinger (9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20) der Klemmfinger-Sollposition entspricht.