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1. (WO2018141317) SCHICHTSYSTEM UND BAUTEIL

Pub. No.:    WO/2018/141317    International Application No.:    PCT/DE2017/101041
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 05 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/16
C23C 14/06
C23C 28/00
Applicants: SCHAEFFLER TECHNOLOGIES AG & CO. KG
Inventors: SCHULZ, Edgar
DOBRENIZKI, Ladislaus
BRUGNARA, Ricardo Henrique
WITTER, Oliver
Title: SCHICHTSYSTEM UND BAUTEIL
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Schichtsystem (1), umfassend mindestens eine Haftvermittlerschicht (2a, 2b); und mehrere, auf der mindestens einen Haftvermittlerschicht (2a, 2b) angeordnete Funktionsschichten (3, 4, 5, 6), wobei jede Funktionsschicht (3, 4, 5, 6) eine erste Nanolage (3a, 4a, 5a, 6a) aus einem ersten Metallnitrid umfassend eine erste Metallkomponente sowie eine metallische zweite Nanolage (3b, 4b, 5b, 6b) umfasst, wobei jede Funktionsschicht (3, 4, 5, 6) eine Schichtdicke d im Bereich von 1 bis 100 nm aufweist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Bauteil (100) umfassend ein metallisches Substrat (10) und das zumindest partiell auf einer Oberfläche des Substrats (10) angeordnete Schichtsystem (1).