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1. (WO2018138197) TRANSPORTRING

Pub. No.:    WO/2018/138197    International Application No.:    PCT/EP2018/051827
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 26 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 16/458
Applicants: AIXTRON SE
Inventors: KRÜCKEN, Wilhelm Josef Thomas
EICKELKAMP, Martin
Title: TRANSPORTRING
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport eines Substrates in Form eines eine Ringöffnung zumindest teilweise umgebenden ringförmigen Körpers (1), mit einem bezogen auf die Ringöffnung radial auswärts ragenden ersten Abschnitt (2) und mit einem radial einwärts ragenden zweiten Abschnitt (3), wobei die Abschnitte (2, 3) jeweils Wärmetransporteigenschaften aufweisen, die bei einem bezogen auf eine Flächennormale der Fläche der Ringöffnung axialen Temperaturunterschied einen axialen Wärmetransport durch die Abschnitte bestimmen. Zumindest eine der Wärmetransporteigenschaften des ersten Abschnitts (2) ist derart von der Wärmetransporteigenschaft des zweiten Abschnitts (3) verschieden, dass die in Achsrichtung durch ein Einheitsflächenelement fließende Wärme im ersten Abschnitt (2) kleiner ist als im zweiten Abschnitt (3), wobei die Wärmetransporteigenschaft die spezifische Wärmeleitfähigkeit oder die Emissivität zumindest einer in Achsrichtung weisenden Oberfläche der Abschnitte (2, 3) ist.