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1. (WO2018138138) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERFASSUNG DER OBERFLÄCHENSTRUKTUR UND BESCHAFFENHEIT EINER PROBE

Pub. No.:    WO/2018/138138    International Application No.:    PCT/EP2018/051712
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Jan 25 00:59:59 CET 2018
IPC: G01B 11/02
G01S 17/02
G01S 17/89
G01B 11/24
G01N 21/31
G01N 21/3563
G01S 7/48
G01N 21/47
Applicants: MARX, Juergen
Inventors: MARX, Juergen
EBERL, Heinrich Alexander
RAEDLE, Matthias
TEUMER, Tobias
DOERNHOFER, Patrick
Title: VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERFASSUNG DER OBERFLÄCHENSTRUKTUR UND BESCHAFFENHEIT EINER PROBE
Abstract:
Offenbart wird ein Verfahren zur Erfassung der Oberflächenstruktur und Beschaffenheit einer Probe (P) mittels einer Abtasteinrichtung (21, 22), insbesondere zur Erfassung chemischer Substanzen auf und in der Oberfläche der Probe (P), wobei die Probe (P) und die Abtasteinrichtung (21, 22) relativ zueinander bewegt werden, und wobei a) die Abtasteinrichtung Licht (L 1, L 2) mit mindestens zwei unterschiedliche Eigenschaften, insbesondere zwei unterschiedliche Wellenlängen (λ 1, λ 2) und / oder unterschiedliche Phasenlagen abstrahlt, wobei insbesondere die Wellenlänge (λ 1) des ersten Lichts (L 1) im Absorptionsbereich und / oder die Phasenlage im Kontrastbereich der Probe (P) liegen, und insbesondere Wellenlängen (λ 1, λ 2) verwendet werden, die dem Wellenlängenbereich des Absorptionsspektrums der Beschaffenheit der Oberfläche der Probe (P), insbesondere einer zu erfassenden chemischen Substanz (S), entsprechen, b) das von der Oberfläche der Probe (P) reflektierte Licht (R 1, R 2) erfasst und aus Abweichungen des reflektierten Lichts (R 1, R 2) von dem abgegebenen Licht (L 1, L 2) zwei digitale Bilder der Topographie der Oberfläche der Probe (P) und der Intensität des reflektierten Lichts (R 1, R 2) erzeugt werden. Offenbart wird auch eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.