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1. (WO2018130693) MESSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR KOMBINIERTEN ERFASSUNG DER OBERFLÄCHENTOPOGRAFIE UND HYPERSPEKTRALEN BILDGEBUNG

Pub. No.:    WO/2018/130693    International Application No.:    PCT/EP2018/050891
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Jan 16 00:59:59 CET 2018
IPC: G01B 11/24
A61C 9/00
Applicants: BADEN-WÜRTTEMBERG STIFTUNG GGMBH
Inventors: STOCK, Karl
MADER, Raphael
Title: MESSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR KOMBINIERTEN ERFASSUNG DER OBERFLÄCHENTOPOGRAFIE UND HYPERSPEKTRALEN BILDGEBUNG
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erfassen topographischer und ortsaufgelöster, spektraler Eigenschaften einer zu untersuchenden Oberfläche. Dabei umfasst das Verfahren: ein Erzeugen eines Beleuchtungsmusters eines ersten Messlichts mit einer Vielzahl von Wellenlängen; ein Abbilden des Beleuchtungsmusters des ersten Messlichts auf die zu untersuchende Oberfläche mittels eines chromatischen Objektivs derart, dass das Beleuchtungsmuster für unterschiedliche Wellenlängen der Vielzahl von Wellenlängen des ersten Messlichts in unterschiedlichen Abständen vom chromatischen Objektiv scharf abgebildet wird; ein Abbilden des von der zu untersuchenden Oberfläche abgestrahlten ersten Messlichts mittels des chromatischen Objektivs auf eine Konfokalmaske, welche ein zum Beleuchtungsmuster korrespondierendes Transmissionsmuster aufweist; ein spektrales Aufspalten des durch die Konfokalmaske transmittierten ersten Messlichts; ein ortsaufgelöstes Erfassen einer 2-dimensionalen Intensitätsverteilung des spektral aufgespaltenen ersten Messlichts mittels eines Detektors; ein Ermitteln der topographischen Eigenschaften der zu untersuchenden Oberfläche anhand der mittels des Detektors erfassten Intensitätsverteilung des ersten Messlichts; ein homogenes Beleuchten der zu untersuchenden Oberfläche mittels eines zweiten Messlichts mit einer Vielzahl von Wellenlängen; ein Abbilden des von der zu untersuchenden Oberfläche abgestrahlten zweiten Messlichts mittels des chromatischen Objektivs auf die Konfokalmaske; ein spektrales Aufspalten des durch die Konfokalmaske transmittierten zweiten Messlichts; ein ortsaufgelöstes Erfassen einer 2-dimensionalen Intensitätsverteilung des spektral aufgespaltenen zweiten Messlichts mittels des Detektors; und ein Ermitteln der ortsaufgelösten, spektralen Eigenschaften der zu untersuchenden Oberfläche anhand der mittels des Detektors erfassten Intensitätsverteilung des zweiten Messlichts.