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1. (WO2018130684) VORRICHTUNG ZUM TEMPERIEREN EINES SUBSTRATS UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN

Pub. No.:    WO/2018/130684    International Application No.:    PCT/EP2018/050874
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Jan 16 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/67
G01R 1/04
Applicants: ERS ELECTRONIC GMBH
Inventors: REITINGER, Klaus
Title: VORRICHTUNG ZUM TEMPERIEREN EINES SUBSTRATS UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
Abstract:
Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung zum Temperieren eines Substrats und entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Vorrichtung ist ausgestattet mit einem platten-förmigen Hauptkörper (1; 1a, 1b) mit einer Substratauflagefläche (SF), einer ersten Temperierungseinrichtung zum Temperieren des Hauptkörpers mittels eines ersten Temperierungsfluids, welche eine erste Mehrzahl getrennter ringförmiger Kanäle (R1F-R4F) im Innern des Hauptkörpers (1; 1a, 1b) zum Zirkulieren des ersten Temperierungsfluids aufweist, einer zweiten Temperierungseinrichtung zum Temperieren des Hauptkörpers mittels eines zweiten Temperierungsfluids, welche eine zweite Mehrzahl getrennter ringförmiger Kanäle (R1L-R5L) im Innern des Hauptkörpers (1; 1a, 1b) zum Zirkulieren des zweiten Temperierungsfluids aufweist, wobei der ersten Mehrzahl ringförmiger Kanäle (R1F-R4F) das erste Temperierungsfluid durch eine erste Röhre (K1F) zuführbar ist und durch eine zweite Röhre (K2F) daraus ableitbar ist, wobei der zweiten Mehrzahl ringförmiger Kanäle (R1L-R5L) das zweite Temperierungsfluid durch eine dritte Röhre (K1L) zuführbar ist und durch eine vierte Röhre (K2L) daraus ableitbar ist, wobei der Hauptkörper (1; 1a, 1b) eine erste bis vierte Bohrung (B1F, B2F, B1L, B2L) aufweist, welche jeweils mit der ersten Mehrzahl getrennter ringförmiger Kanäle (R1 F-R4F) und der zweiten Mehrzahl getrennter ringförmiger Kanäle (R1L-R5L) kommunizieren, wobei die erste bis vierte Röhre (K1F; K2F; K1L; K2L) in die erste bis vierte Bohrung (B1F; B2F; B1L; B2L) des Hauptkörpers (1; 1a, 1b) eingesetzt sind.