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1. (WO2018130326) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT SCHWINGER, HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR UND VERFAHREN ZUM ANREGEN EINER BEWEGUNG EINES VERSTELLBAREN TEILS UM EINE ROTATIONSACHSE

Pub. No.:    WO/2018/130326    International Application No.:    PCT/EP2017/079455
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Nov 17 00:59:59 CET 2017
IPC: B81B 3/00
G02B 26/08
G02B 26/10
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: PINTER, Stefan
KAUPMANN, Philip
MUCHOW, Joerg
GRUTZECK, Helmut
FRANZ, Jochen
Title: MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT SCHWINGER, HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR UND VERFAHREN ZUM ANREGEN EINER BEWEGUNG EINES VERSTELLBAREN TEILS UM EINE ROTATIONSACHSE
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Halterung (10), einem verstellbaren Teil (12), welches zumindest über mindestens eine Feder (14a, 14b, 14c) mit der Halterung (10) verbunden ist, und einer Aktoreinrichtung (18), wobei eine erste Schwingbewegung (Φ1) des verstellbaren Teils (12) um eine erste Drehachse (20) und gleichzeitig eine zweite Schwingbewegung (Φ2) des in die erste Schwingbewegung (Φ1) versetzten verstellbaren Teils (12) um eine zweite Drehachse (22) mittels der Aktoreinrichtung (18) anregbar sind, und wobei das verstellbare Teil (12) mittels zumindest der mindestens einen Feder (14a, 14b, 14c) derart verstellbar an der Halterung (10) angeordnet ist, dass das verstellbare Teil (12) mittels eines resultierenden Drehmoments (M2) um eine senkrecht zu der ersten Drehachse (20) und senkrecht zu der zweiten Drehachse (22) ausgerichtete Rotationsachse (24) verstellbar ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Anregen einer Bewegung eines verstellbaren Teils (12) um eine Rotationsachse (24).