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1. (WO2018122110) ZUSAMMENSETZUNG ZUR REINIGUNG SOWIE VERHINDERUNG VON ABLAGERUNGEN IN BESCHICHTUNGSDÜSEN FÜR LÖSUNGSPROZESSIERBARE METALLOXID-PRÄKURSOREN

Pub. No.:    WO/2018/122110    International Application No.:    PCT/EP2017/084174
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 22 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 18/12
B05D 1/00
Applicants: EVONIK DEGUSSA GMBH
Inventors: WEBER, Dennis
MERKULOV, Alexey
Title: ZUSAMMENSETZUNG ZUR REINIGUNG SOWIE VERHINDERUNG VON ABLAGERUNGEN IN BESCHICHTUNGSDÜSEN FÜR LÖSUNGSPROZESSIERBARE METALLOXID-PRÄKURSOREN
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifftein Düsen-Beschichtungsverfahren zur Abscheidung von Metall- Alkoxiden und/oder Metall-Oxo-Alkoxiden,dadurch gekennzeichnet, dass die Düse vor und/oder nach dem Beschichtungsverfahren in ein Lösungsmittel enthaltend mindestens 25 Gew.-% Acetylaceton eingetaucht wird. Die vorliegende Erfindung betrifft auch die Verwendung eines Lösungsmittels enthaltend mindestens 25 Gew.-% Acetylaceton zur Prävention von Ablagerungen durch Metall-Alkoxide und/oder Metall-Oxo-Alkoxide in Beschichtungsdüsen. Sie betrifftebenfalls die Verwendung eines Lösungsmittels enthaltend mindestens 25 Gew.-% Acetylaceton zur Auflösung von Ablagerungen durch Metall-Alkoxide und/oder Metall-Oxo-Alkoxide in Beschichtungsdüsen.