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1. (WO2018121810) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINER OBJEKTOBERFLÄCHE MITTELS EINER BEHANDLUNGSLÖSUNG

Pub. No.:    WO/2018/121810    International Application No.:    PCT/DE2017/100953
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 11 00:59:59 CET 2017
IPC: C25B 1/26
C25B 9/06
C25B 9/18
C25B 15/02
C25F 3/12
C25F 3/30
H01L 21/02
H01L 21/67
H01L 31/18
Applicants: RENA TECHNOLOGIES GMBH
Inventors: KÜHNLEIN, Holger
PLETTIG, Martin
Title: VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINER OBJEKTOBERFLÄCHE MITTELS EINER BEHANDLUNGSLÖSUNG
Abstract:
Verfahren zur Behandlung wenigstens eines Teils einer Objektoberfläche mittels einer Behandlungslösung (12), bei welchem die Behandlungslösung (12) Wasser und eine Quelle für negativ geladene Chlorionen enthält und in der Behandlungslösung (12) mittels Elektrolyse Chlorgas (26) bereitgestellt wird, sowie Vorrichtung zur Behandlung wenigstens eines Teils einer Objektoberfläche aufweisend ein Prozessbecken (10; 60; 80), in welchem eine Behandlungslösung (12) angeordnet ist, in der Behandlungslösung (12) gelöstes Chlorgas, in der Behandlungslösung (12) angeordnete Elektroden (14, 16; 85, 86) unterschiedlicher Polarität und eine mit den Elektroden (14, 16; 85, 86) elektrisch leitend verbundene Stromquelle (18).