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1. (WO2018104178) KATADIOPTRISCHES PROJEKTIONSOBJEKTIV UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG

Pub. No.:    WO/2018/104178    International Application No.:    PCT/EP2017/081230
Publication Date: Fri Jun 15 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 02 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/20
G02B 17/08
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: ROCKTÄSCHEL, Martin
GRUPP, Michael
WAGNER, Hendrik
Title: KATADIOPTRISCHES PROJEKTIONSOBJEKTIV UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
Abstract:
Ein katadioptrisches Projektionsobjektiv (PO) dient zur Abbildung eines in einem effektiven Objektfeld (OF) einer Objektebene (OS) des Projektionsobjektivs angeordneten Musters einer Maske in ein in der Bildebene (IS) des Projektionsobjektivs angeordnetes effektives Bildfeld mittels elektromagnetischer Strahlung einer Arbeitswellenlänge λ< 260 nm. Das Projektionsobjektiv umfasst eine Vielzahl von Linsen und einer Vielzahl von Spiegeln umfassend mindestens einen Konkavspiegel (CM), wobei die Linsen und Spiegel einen Projektionsstrahlengang definieren, welcher von der Objektebene (OS) zur Bildebene (IS) verläuft und mindestens eine Pupillenebene (P2) enthält. Die Spiegel umfassen einen ersten Spiegel (FM1) mit einer ersten Spiegelfläche (MS1), die im Projektionsstrahlengang zwischen der Objektebene und der Pupillenebene (P2) in optischer Nähe einer zur Objektebene optisch konjugierten ersten Feldebene angeordnet ist, sowie einen zweiten Spiegel (FM2) mit einer zweiten Spiegelfläche (MS2), die im Projektionsstrahlengang zwischen der Pupillenebene (P2) und der Bildebene in optischer Nähe einer zu der ersten Feldebene optisch konjugierten zweiten Feldebene angeordnet ist. Die erste Spiegelfläche (MS1) und/oder die zweite Spiegelfläche (MS2) als eine Freiformfläche gestaltet.