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1. (WO2018102470) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL IMAGING ATOMIC FORCE MICROSCOPE INFRARED SPECTROSCOPY
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Veröff.-Nr.: WO/2018/102470 Internationale Anmeldenummer PCT/US2017/063810
Veröffentlichungsdatum: 07.06.2018 Internationales Anmeldedatum: 29.11.2017
IPC:
G01N 21/47 (2006.01) ,B82Y 35/00 (2011.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17
Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
47
Streuung, d.h. diffuse Reflexion
B Arbeitsverfahren; Transportieren
82
Nanotechnik
Y
Bestimmter Gebrauch oder bestimmte Anwendung von Nanostrukturen; Messung oder Analyse von Nanostrukturen; Herstellung oder Behandlung von Nanostrukturen
35
Verfahren oder Vorrichtungen für die Messung oder Analyse von Nanostrukturen
Anmelder:
ANASYS INSTRUMENTS CORPORATION [US/US]; 325 Chapala Street Santa Barbara, CA 93101, US
Erfinder:
PRATER, Craig; US
KJOLLER, Kevin; US
SHETTY, Roshan; US
Vertreter:
PEDERSEN, Brad, D.; US
CHADWICK, Eric, H.; US
BIASCO, Tye; US
BRUZZONE, Daniel, L.; US
BURGESS, Daidre, L.; US
Prioritätsdaten:
62/427,67129.11.2016US
Titel (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHEMICAL IMAGING ATOMIC FORCE MICROSCOPE INFRARED SPECTROSCOPY
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE SPECTROSCOPIE INFRAROUGE POUR MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE EN IMAGERIE CHIMIQUE
Zusammenfassung:
(EN) Methods and apparatus for performing spectroscopy from the scale of nanometers to millimeters and imaging techniques including atomic force microscopy, infrared spectroscopy, confocal microscopy, Raman spectroscopy and mass spectrometry. For infrared spectroscopy, a sample is illuminated with infrared light and the resulting sample distortion is read out with either a focused UV/visible light beam and/or AFM tip. The combination of both techniques provides a rapid and large area survey scan with the UV /visible light and a high resolution measurement with the AFM tip. The methods and apparatus also include the ability to analyze light reflected/scattered from the sample via a Raman spectrometer for complementary analysis by Raman spectroscopy.
(FR) L'invention concerne des procédés et un appareil pour effectuer une spectroscopie à une échelle allant des nanomètres aux millimètres et des techniques d'imagerie comprenant la microscopie à force atomique, la spectroscopie infrarouge, la microscopie confocale, la spectroscopie Raman et la spectrométrie de masse. Pour la spectroscopie infrarouge, un échantillon est éclairé à l'aide d'une lumière infrarouge et la distorsion d'échantillon obtenue est lue soit avec un faisceau de lumière UV/visible focalisé, et/ou une pointe de sonde AFM. La combinaison des deux techniques permet un balayage d'observation rapide et d'une grande surface avec la lumière UV/visible et une mesure de résolution élevée avec la pointe de sonde AFM. Les procédés et l'appareil selon l'invention englobent également la capacité d'analyser la lumière réfléchie/diffusée à partir de l'échantillon par l'intermédiaire d'un spectromètre Raman pour une analyse complémentaire par spectroscopie Raman.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Englisch (EN)
Anmeldesprache: Englisch (EN)