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1. (WO2018099506) SENSORELEMENT FÜR MAGNETFELDER MIT HOHER FREQUENZBANDBREITE
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Veröff.-Nr.: WO/2018/099506 Internationale Anmeldenummer PCT/DE2017/100848
Veröffentlichungsdatum: 07.06.2018 Internationales Anmeldedatum: 06.10.2017
IPC:
G01R 33/09 (2006.01) ,G01R 33/18 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
R
Messen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
33
Anordnungen oder Instrumente zum Messen magnetischer Größen
02
Messen der Richtung oder des Betrages von magnetischen Feldern oder des magnetischen Kraftflusses
06
mit galvano-magnetischen Vorrichtungen
09
Vorrichtungen mit magnetischer Widerstandsänderung
G Physik
01
Messen; Prüfen
R
Messen elektrischer Größen; Messen magnetischer Größen
33
Anordnungen oder Instrumente zum Messen magnetischer Größen
12
Messen magnetischer Eigenschaften von Gegenständen oder Proben von festen Körpern oder fließfähigen Stoffen
18
Messen magnetostriktiver Kenngrößen
Anmelder:
CHRISTIAN-ALBRECHTS-UNIVERSITÄT ZU KIEL [DE/DE]; Christian-Albrechts-Platz 4 24118 Kiel, DE
Erfinder:
QUANDT, Eckhard; DE
KITTMANN, Anne; DE
ZABEL, Sebastian; DE
YARAR, Erdem; DE
FAUPEL, Franz; DE
KNÖCHEL, Reinhard; DE
HÖFT, Michael; DE
DURDAUT, Phillip; DE
Vertreter:
HANSEN UND HEESCHEN; Patentanwälte Eisenbahnstraße 5 21680 Stade, DE
Prioritätsdaten:
10 2016 123 274.201.12.2016DE
Titel (EN) SENSOR ELEMENT FOR MAGNETIC FIELDS HAVING HIGH FREQUENCY BANDWIDTH
(FR) ÉLÉMENT DE DÉTECTION DE CHAMPS MAGNÉTIQUES À LARGEUR DE BANDE DE FRÉQUENCE ÉLEVÉE
(DE) SENSORELEMENT FÜR MAGNETFELDER MIT HOHER FREQUENZBANDBREITE
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a magnetic field sensor element comprising a piezo electric substrate having predetermined shear wave velocity Vs, two pairs of interdigital electrodes, arranged on the substrate on the ends of a delay section, having a period length p of at least 10 micrometers, a non-magnetic, electrically non-conductive guide layer arranged on the substrate along the delay section, and a magnetostrictive function layer arranged on the guide layer, wherein the shear wave velocity in the guide layer is smaller than Vs, wherein a) the substrate is oriented to generate and propagate mechanical shear waves upon applying a temporally periodic, electrical voltage to at least one interdigital electrode pair in the range of frequency Vs/p and, wherein b) the thickness of the guide layer equals at least 10 % and at at most 30 % of the period length p of the interdigital electrodes.
(FR) L'invention concerne un capteur de champ magnétique comprenant un substrat piézoélectrique ayant une vitesse d'onde de cisaillement prédéterminée Vs, deux paires d'électrodes interdigitées ayant une longueur de période p d'au moins 10 micromètres et disposée sur le substrat aux extrémités d'un trajet de retard, une couche de guidage non-magnétique, électriquement non-conductrice sur le substrat le long du trajet de retard et une couche fonctionnelle magnétostrictive disposée sur la couche de guidage, la vitesse de l'onde de cisaillement dans la couche de guidage étant inférieure à Vs; a.) le substrat étant orienté de manière à générer et propager des ondes de cisaillement mécaniques lorsqu'au moins une paire d'électrodes interdigitées est soumise à une tension électrique périodique dans le domaine de la fréquence Vs/p et b.) l'épaisseur de la couche de guidage étant égale à au moins 10 % et au plus 30 % de la longueur de période p des électrodes interdigitées.
(DE) Magnetfeldsensorelement umfassend ein piezoelektrisches Substrat mit vorbestimmter Scherwellengeschwindigkeit Vs, zwei auf dem Substrat an den Enden einer Verzögerungsstrecke angeordnete Paare von Interdigitalelektroden mit einer Periodenlänge p von wenigstens 10 Mikrometern, eine auf dem Substrat entlang der Verzögerungsstrecke angeordnete, nicht-magnetische, elektrisch nicht-leitende Führungsschicht und eine auf der Führungsschicht angeordnete magnetostriktive Funktionsschicht, wobei die Scherwellengeschwindigkeit in der Führungsschicht kleiner als Vs ist, wobei a.) das Substrat orientiert ist zur Erzeugung und Propagation von mechanischen Scherwellen bei Beaufschlagung wenigstens eines Interdigitalelektrodenpaares mit einer zeitlich periodischen, elektrischen Spannung im Bereich der Frequenz Vs/p und, wobei b.) die Dicke der Führungsschicht mindestens 10 % und höchstens 30% der Periodenlänge p der Interdigitalelektroden beträgt.
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasische Patentorganisation (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)