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1. (WO2018096004) VERFAHREN ZUM STEUERN ODER REGELN EINER MIKROSKOPBELEUCHTUNG

Pub. No.:    WO/2018/096004    International Application No.:    PCT/EP2017/080132
Publication Date: Fri Jun 01 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 23 00:59:59 CET 2017
IPC: G02B 21/06
G02B 21/36
Applicants: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventors: GÖGLER, Michael
OHRT, Thomas
Title: VERFAHREN ZUM STEUERN ODER REGELN EINER MIKROSKOPBELEUCHTUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Regeln einer ein Objekt (12) beleuchtenden Lichtquelle (16) eines Mikroskops (10), umfassend die Schritte: Festlegen eines Sollwerts eines Energieparameters einer Beleuchtungsstrahlung auf dem Objekt (12); Erzeugen der Beleuchtungsstrahlung mittels der Lichtquelle (16); Bereitstellen eines Objektivs (14) zum Fokussieren der Beleuchtungsstrahlung auf das Objekt (12); Ermitteln einer Transmissionseigenschaft des Objektivs (14) für die Beleuchtungsstrahlung; Auskoppeln eines Anteils der Beleuchtungsstrahlung vor dem Objektiv (14) als Messstrahlung und Messen eines Istwerts des Energieparameters der Messstrahlung; Bereitstellen eines Zusammenhangs zwischen Energieparameter der Messstrahlung und Energieparameter der Beleuchtungsstrahlung auf dem Objekt (12), wobei der Zusammenhang von der Höhe des Anteils und der Transmissionseigenschaft des Objektivs (14) abhängt, und Einstellen der Lichtquelle (16) derart, dass der für die Messstrahlung gemessene Istwert des Energieparameters gemäß dem Zusammenhang dem Sollwert des Energieparameters innerhalb eines Toleranzbereichs entspricht.