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1. (WO2018096003) MIKROSKOP ZUR ABBILDUNG EINES OBJEKTS

Pub. No.:    WO/2018/096003    International Application No.:    PCT/EP2017/080131
Publication Date: Fri Jun 01 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 23 00:59:59 CET 2017
IPC: G02B 21/00
G02B 21/08
G02B 21/24
Applicants: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Inventors: GÖGLER, Michael
Title: MIKROSKOP ZUR ABBILDUNG EINES OBJEKTS
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Mikroskop (10) zur Abbildung eines Objekts (12), umfassend ein Objektiv (14) zur Abbildung des Objekts (12) durch einen Abbildungsstrahlengang (32), eine Lichtquelle (16) zur Erzeugung von Beleuchtungsstrahlung, mindestens ein optisches Element (18) zur Einkopplung der Beleuchtungsstrahlung in den Abbildungsstrahlengang (32), so dass zwischen optischem Element (18) und Objektiv (14) ein gemeinsamer Strahlengang gebildet ist, durch den der Abbildungsstrahlengang verläuft und die Beleuchtungsstrahlung geführt ist, eine Überwachungseinrichtung (20) zum Messen eines Energieparameters der Beleuchtungsstrahlung, wobei die Überwachungseinrichtung (20) einen Energieparameter einer auf sie eintreffenden Strahlung bestimmt, und eine Strahlteilereinrichtung (22), welche in Beleuchtungsrichtung im gemeinsamen Strahlengang dem Objektiv (14) vorgeordnet ist und von der Beleuchtungsstrahlung Messstrahlung auf die Überwachungseinrichtung (20) auskoppelt.