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1. (WO2018087326) BESCHICHTUNGSVERFAHREN, BESCHICHTUNGSEINRICHTUNG UND BAUTEIL

Pub. No.:    WO/2018/087326    International Application No.:    PCT/EP2017/078947
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 11 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/04
C23C 14/12
C23C 14/24
Applicants: EMDE, Thomas
Inventors: KOWALSKY, Wolfgang
FRANKE, Sebastian
MONTZKA, Sebastian
SCHMIDT, Hans
NOWAK, Christine
WOLF, Lisa
FÜNDLING, Sönke
Title: BESCHICHTUNGSVERFAHREN, BESCHICHTUNGSEINRICHTUNG UND BAUTEIL
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats (1) mit einem Beschichtungsmaterial (8), wobei das Beschichtungsmaterial (8) von einer Materialabgabeeinrichtung (7) an einer Materialabgabestelle (11) abgegeben wird, einen Transportbereich (5) von der Materialabgabestelle (11) zu einer zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) zurücklegt und sich an der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) abscheidet, mit folgenden Schritten: a) Eliminieren von für den Beschichtungsprozess unerwünschten gasförmigen Medien (34) zumindest im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1), der Materialabgabestelle (11) und des dazwischen liegenden Transportbereichs (5), b) Einbringen eines für den Beschichtungsprozess gewünschten gasförmigen Mediums (4, 33) in den Transportbereich (5) mit einem Druck im Bereich von 10-5 mbar bis 10-1 mbar, c) Abgeben des Beschichtungsmaterials (8) von der Materialabgabestelle (11), während sich das gewünschte gasförmige Medium (4, 33) im Transportbereich (5) in dem im Merkmal b) angegebenen Druckbereich befindet, wobei das Beschichtungsmaterial (8) den Transportbereich (5) zu der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) zurücklegt und sich an der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) abscheidet, ohne dass das gewünschte gasförmige Medium (4, 33) ein Trägergas für das Beschichtungsmaterial (8) bildet. Die Erfindung betrifft ferner eine Beschichtungseinrichtung zur Beschichtung eines Substrats mit einem Beschichtungsmaterial gemäß Anspruch 14 sowie ein Bauteil mit einem Substrat.