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1. (WO2018086737) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ELEKTRONENEMITTERS MIT EINER NANOSTÄBCHEN ENTHALTENDEN BESCHICHTUNG

Pub. No.:    WO/2018/086737    International Application No.:    PCT/EP2017/001299
Publication Date: Fri May 18 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 09 00:59:59 CET 2017
IPC: B82Y 40/00
H01J 1/304
H01J 9/02
C01B 32/156
Applicants: VILICUS 142 GMBH
Inventors: WEBER, Immo
Title: VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ELEKTRONENEMITTERS MIT EINER NANOSTÄBCHEN ENTHALTENDEN BESCHICHTUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Elektronenemitters (1) mit einer Nanostäbchen (4, 7), insbesondere Kohlenstoffnanoröhren, enthaltenden Beschichtung (2) auf einer Bauteiloberfläche (3). Hierbei wird durch Abziehen eines aufgebrachten Elastomerfilms eine Oberfläche erhalten, aus welcher Kohlenstoffnanoröhren (7) aufrecht ausgerichtet aus einer anorganischen und elektrisch leitfähigen Haftschicht (5) herausragen. Insbesondere weist ein Gesamtbeschichtungsbereich des Elektronenemitters (1) eine mittlere Anzahl (n) aus der elektrisch leitfähigen Haftschicht (5) herausragender Kohlenstoffnanoröhren (7) in hauptsächlich aufrechter Ausrichtung auf, wobei pro Teilbeschichtungsbereich einer Größe von mindestens 108 mm2 die Anzahl der aus der Haftschicht herausragenden Nanostäbchen (7) in hauptsächlich aufrechter Ausrichtung pro mm2 um nicht mehr als 25 % von dem Mittelwert (n) abweicht.