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1. (WO2018078731) HARD COATING AND MEMBER COATED WITH HARD COATING
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Veröff.-Nr.: WO/2018/078731 Internationale Anmeldenummer PCT/JP2016/081647
Veröffentlichungsdatum: 03.05.2018 Internationales Anmeldedatum: 25.10.2016
IPC:
C23C 14/06 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
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Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
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Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
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gekennzeichnet durch das Beschichtungsmaterial
Anmelder:
オーエスジー株式会社 OSG CORPORATION [JP/JP]; 愛知県豊川市本野ヶ原三丁目22番地 22, Honnogahara 3-chome, Toyokawa-shi, Aichi 4420005, JP
Erfinder:
櫻井 正俊 SAKURAI Masatoshi; JP
ワン メイ WANG Mei; JP
Vertreter:
池田 治幸 IKEDA Haruyuki; JP
池田 光治郎 IKEDA Kojiro; JP
Prioritätsdaten:
Titel (EN) HARD COATING AND MEMBER COATED WITH HARD COATING
(FR) REVÊTEMENT DUR ET ÉLÉMENT REVÊTU D'UN REVÊTEMENT DUR
(JA) 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
Zusammenfassung:
(EN) Provided is a hard coating 24, which is coated on the surface of a tool substrate, and in which an A layer 34, a B layer 36, and a nanoscale alternating layer 40 are alternately laminated to a film thickness of 0.5-20 μm by physical vapor deposition, wherein the nanoscale alternating layer 40 is obtained by alternately laminating a C layer 39 and a nanoscale A layer 37 or nanoscale B layer 38 to nano-order thicknesses, the nanoscale A layer 37 or nanoscale B layer 38 having the same composition as the A layer 34 or B layer 36. The A layer 34 has a compositional formula of (AlaTibCrcαd)N and a thickness of 0.5-1000 nm, the B layer 36 has a compositional formula of (AleTifCrgβh)CXN1-X, and a thickness of 0.5-1000 nm, the nanoscale alternating layer 40 has a thickness of 1-1000 nm, the C layer 39 has a compositional formula of [AliCrj(SiC)kγl]CYN1-Y, and the C layer 39 and the nanoscale A layer 37 or nanoscale B layer have a thickness of 0.5-500 nm.
(FR) L'invention concerne un revêtement dur 24, qui est appliqué sur la surface d'un substrat d'outil, et comprend une couche A 34, une couche B 36, et une nanocouche alternée 40 qui sont stratifiées en alternance à une épaisseur de film de 0,5 à 20 µm par dépôt physique en phase vapeur, la nanocouche alternée 40 étant obtenue par stratification alternée d'une couche C 39 et d'une nanocouche A 37 ou d'une nanocouche B 38 à des épaisseurs nanométriques, la nanocouche A 37 ou la nanocouche B 38 ayant la même composition que la couche A 34 ou la couche B 36. La couche A 34 a la formule de composition (AlaTibCrcαd)N et une épaisseur de 0,5 à 1 000 nm, la couche B 36 a la formule de composition (AleTifCrgβh)CXN1-X, et une épaisseur de 0,5 à 1 000 nm, la nanocouche alternée 40 a une épaisseur de 1 à 1 000 nm, la couche C 39 a la formule de composition [AliCrj(SiC)kγl]CYN1-Y, et la couche C 39 et la nanocouche A 37 ou la nanocouche B ont une épaisseur de 0,5 à 500 nm.
(JA) 工具母材30の表面に被覆される硬質被膜24は、物理的蒸着法により、A層34と、B層36と、A層34またはB層36と同一の組成を有するナノレイヤーA層37またはナノレイヤーB層38およびC層39がナノオーダの厚みで交互に積層されたナノレイヤー交互層40とが交互に積層されて、0.5~20μmの膜厚となるように構成されたものであり、A層34は、組成式が(AlTiCrα)Nであり、0.5~1000nmの厚みを有し、B層36は、組成式が(AlTiCrβ)C1-Xであり、0.5~1000nmの厚みを有し、ナノレイヤー交互層40は1~1000nmの厚みを有するものであり、C層39は、組成式が[AlCr(SiC)γ]C1-Yであり、ナノレイヤーA層37またはナノレイヤーB層38およびC層39は0.5~500nmの厚みを有する。
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Veröffentlichungssprache: Japanisch (JA)
Anmeldesprache: Japanisch (JA)