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1. (WO2018077754) VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAS

Pub. No.:    WO/2018/077754    International Application No.:    PCT/EP2017/076891
Publication Date: Fri May 04 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Oct 21 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 41/107
H01L 41/053
Applicants: EPCOS AG
Inventors: RINNER, Franz
KUDELA, Pavol
PUFF, Markus
Title: VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES ATMOSPHÄRENDRUCK-PLASMAS
Abstract:
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (11) zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas, aufweisend einen piezoelektrischen Transformator (1) und ein erstes Stützelement (22), auf dem der piezoelektrische Transformator (1) an einer Position aufliegt, an der sich ein Schwingungsknoten ausbildet, wenn der piezoelektrische Transformator (1) mit einer Betriebsfrequenz betrieben wird, die kleiner ist als seine Parallelresonanzfrequenz, und der piezoelektrische Transformator (1) zur Erzeugung eines nicht-thermischen Atmosphärendruck-Plasmas verwendet wird.